Practical Aspects and Applications of Electron Beam Irradiation , 共著, publ. Research Signpost/Transworld Research Network, 2011年01月, Photoelectron signal simulation at surface analysis”, Chapter in a special review book, 978-81-7895-532-2 

最先端照明光源技術全集 , 分担執筆, 技術情報協会, 2008年02月29日, 第9節　白色LEDを用いた内照式標識・看板, 978-4861042126 

プラズマイオンプロセスとその応用 , 分担執筆, オーム社, 2005年10月01日, 8-6節、8-8節, 978-4274201233 

LED最新技術動向－性能向上と課題解決集－ , 分担執筆, 情報機構, 2005年03月31日, LED低消費電力化の工夫, 978-4901677356 

表面科学の基礎と応用 , 分担執筆, NTS Inc., 1991年08月01日, ＣＶＤ法,  

編集後記, 日本表面真空学会学会誌, 2021年01月10日 

オゾンセンサーを内蔵するIoTの作成とその応用 , オゾンニュース・イン・ジャパン, ( 117), 3- 6, 2021年04月20日 

Review of HIT - IE-BAS joint research during the last 25 years , 広島工業大学紀要．研究編, 55,  95- 100, 2021年02月01日 

オゾンセンサーを内蔵するIoTの作成とその応用 , 広島工業大学紀要. 研究編, 55,  31- 39, 2021年02月01日 

IoTを用いた高大連携による初歩的な環境計測 , 広島工業大学紀要. 教育編, 20,  7- 16, 2021年02月01日 

水素を用いた燃料電池に関する初歩的な教育システムの構築 , 広島工業大学紀要．教育編, 19,  53- 60, 2020年02月01日 

Sigfox を用いたIoT 機器の製作と、ThingSpeak, Matlab/Simulink,及びTwitter を用いた教育、研究、及び社会への応用 , 広島工業大学紀要．研究編, 54,  113- 122, 2020年02月01日 

DV-Xα分子軌道法によるXPSスペクトルの理論と実験的評価およびマテリアルズ・インフォマティクスの応用 , 広島工業大学紀要．研究編, 53,  79- 88, 2019年02月01日 

一般財団法人スポーツ環境総合技術推進協議会の2018年活動報告 , 広島工業大学紀要．研究編, 53,  269- 276, 2019年02月01日 

初歩的な自立式再生エネルギーシステムの構築 , 広島工業大学紀要. 研究編, 52,  77- 85, 2018年02月01日 

ドローンを用いたスポーツ施設の照明の測定 , 広島工業大学紀要．研究編, 52,  87- 92, 2018年02月01日 

一般財団法人スポーツ環境総合技術推進協議会の概要と活動報告 , 広島工業大学紀要．研究編, 52,  187- 194, 2018年02月01日 

Sigfoxネットワークを用いたIoT機器との 通信システムの構築と教育への応用 , 広島工業大学紀要．教育編, 17,  59- 63, 2018年02月01日 

LED を用いたアリーナのスポーツ照明と，その設置例 , 広島工業大学紀要．研究編, 51,  231- 241, 2017年02月01日 

飯南町の理科クラブの現状と将来 , 広島工業大学紀要. 教育編, 14,  39- 46, 2015年02月01日 

中山間地域における応用物理の教育・啓発とそれを通じた地域の活性化 , 広島工業大学紀要. 教育編, 13,  23- 31, 2014年02月01日 

The report of joint research over 20 years of the Bulgarian Academy of Sciences and Hiroshima Institute of Technology , 広島工業大学紀要．研究編, 48,  105- 114, 2014年02月01日 

LED 照明における東アジアの国際標準化の現状 , 広島工業大学紀要．研究編, 47,  1- 9, 2013年02月01日 

島根県飯石郡飯南町における「スクールニューディール構想」と「緑の分権改革」 , 広島工業大学紀要．研究編, 45,  1- 8, 2011年02月01日 

小規模集積回路（SSI）を用いた設計・プロセス・評価の一貫教育システムの構築 , 広島工業大学紀要．研究編, 44,  1- 5, 2010年02月01日 

システムLSI関連ものづくり教育におけるICチップ作成 , 広島工業大学紀要. 教育編, 4,  7- 12, 2005年02月01日 

システムLSI関連ものづくり教育の高大連携へのアプローチ , 広島工業大学紀要．教育編, 4,  1- 6, 2005年02月01日 

太陽電池式白色LED内照型道路標識用集積回路の開発 , 広島工業大学紀要．研究編, 37,  1- 4, 2003年02月01日 

プラズマ材料プロセス/希薄気体統合シミュレーションツール(PEGASUS)の電磁気学への応用 , 広島工業大学紀要. 教育編, 2,  5- 8, 2003年02月01日 

カードリーダを用いた大学講義出席システムの開発 , 広島工業大学紀要. 教育編, 2,  1- 3, 2003年02月01日 

LSI設計教育のためのC++テンプレートライブラリの開発 , 広島工業大学紀要．教育編, 1,  15- 20, 2002年02月01日 

太陽電池式白色LED内照型道路標識の開発 , 広島工業大学紀要．研究編, 36,  9- 12, 2002年02月01日 

高周波－直流結合形マグネトロンスパッタリング法によるエレクトロクロミック用SnNx薄膜の形成 , 光材料、研究者データベース, ,  81- 82, 1999年03月 

ガス発生とガス濃度計測の制御システム , 計測技術, 51( 6), 27- 31, 2023年05月08日,  

Basic use of OpenWeatherMap for an IoT system with Sigfox , Industry 4.0, 8( 1), 1- 4, 2023年03月,  

Feasibility of food processing treatment using plasma-based ion implantation method , Innovations, 11,  22- 25, 2023年03月,  

広島県立広島皆実高等学校衛生看護科との高大連携 , 広島工業大学紀要 教育編, 22,  67- 76, 2023年02月05日,  

水電解水素発生装置の作製とその適用 , 広島工業大学紀要 研究編, 57,  57- 65, 2023年02月05日,  

集積回路設計試作システムのIoTへの応用の基礎研究 , 電気学会研究会資料(Web), ,  125- 130, 2022年12月06日,  

Effect of the conductivity of the petri dish placed on the electrode on the surface layer of the spores in the PBII method , Electrotechnica & Electronica (Е+Е), 57( 3-4), 41- 45, 2022年06月11日,  

The sterilization effect of plasma-based ion implantation on prokaryotic microorganisms , Electrotechnica & Electronica (Е+Е), 57,  46- 50, 2022年06月01日,  

プラズマイオン注入法を用いた薄膜形成,および表面処理 , 広島工業大学紀要 研究編, 56,  145- 154, 2022年03月04日,  

Sigfox,Matlab,およびThingspeakを用いたIoT装置の教育システム , 広島工業大学紀要 教育編, 21,  9- 18, 2022年03月04日,  

Feedback control of ozone concentration in a room using an ozone generator and the Internet of Things with built-in sensor , Electrotechnica & Electronica (Е+Е), 57,  24- 30, 2022年03月03日,  

Development of an IoT device using SigFox, ThingSpeak, and MATLAB/Simulink , ELECTROTECHNICA & ELECTRONICA, 55( 3-4), 35- 40, 2020年10月01日,  

Transmission of environment data with preliminary secret sharing processing using Sigfox , ELECTROTECHNICA & ELECTRONICA, 55( 9-12), 99- 104, 2020年09月,  

IoT device with Global Positioning System using SigFox, ThingSpeak, and Anaconda platform , ELECTROTECHNICA & ELECTRONICA, 55( 5-8), 94- 98, 2020年08月31日,  

IoT device with Global Positioning System using SigFox, ThingSpeak, and Anaconda platform , ELECTROTECHNICA & ELECTRONICA, 55( 5-8), 94- 98, 2020年06月16日,  

新規食品殺菌装置の開発を目的としたプラズマベースイオン注入(PBII)法のフラットサワー菌に対する殺菌効果 , アグリバイオ, ,  406- 410, 2020年05月20日,  

早期に研究に着手した学生のその後と他への波及効果 , 電気学会論文誌Ａ, 139( 11), 469- 477, 2019年11月, https://doi.org/10.1541/ieejfms.139.469 

Effect of Electron Beam Method on Processing of Titanium Technogenic Material , Metals, 9( 6), 683- 691, 2019年06月14日, https://doi.org/10.3390/met9060683 

First work on collaboration between high schools and university by holding workshops, Industry 4.0 , Industry 4.0, 4( 2), 92- 95, 2019年04月,  

プラズマベースイオン注入法の食品殺菌への応用について , アグリバイオ, 2( 5), 486- 490, 2018年05月20日,  

Construction of a preliminary educational system for file backup system using secret sharing technique , ELECTROTECHNICA & ELECTRONICA, 53( 11-12), 321- 326, 2018年03月21日,  

Investigation of Tantalum Recycling by Electron Beam Melting , Metals, 6( 287), 1- 13, 2016年11月21日, https://doi.org/10.3390/met6110287 

環状に9もしくは10個のvan der Pol発振器をインダクタによって結合した系にみられる波動現象の解析 , 電子情報通信学会技術研究報告, 115( 150), 31- 36, 2015年07月14日,  

4もしくは8個の梯子状に結合したvan der Pol発振器をインダクタで十字に結合した系における位相反転波動の解析 , 電子情報通信学会技術研究報告, 115( 150), 37- 42, 2015年07月14日,  

IC Design Program for Visual and Intuitive Manufacturing Study in High School Education , Proc. of International conference on Innovative Engineering Technologies (ICIET’2014), ,  42- 47, 2014年12月28日, http://dx.doi.org/10.15242/IIE.E1214049 

Construction of an elementary education system on semiconductor processes for power devices using TCAD , 2014 IEEE Conference on Energy Conversion (CENCON), ,  43- 48, 2014年12月, 10.1109/CENCON.2014.6967474 

プラズマベースイオン注入(PBII)法を用いた自己点弧プラズマの生成=窒素ガスとアルゴンガスによる自己点弧プラズマの点灯のタイミング= , 光アライアンス, 25( 11), 40- 43, 2014年11月01日,  

プラズマベースイオン注入(PBII)法を用いたプラズマの密度算定=窒素ガスによる自己点孤プラズマへの応用= , 光アライアンス, 25( 9), 53- 57, 2014年09月01日,  

プラズマベースイオン注入(PBII)法を用いた窒素ガスとアルゴンガスの自己点弧プラズマの点灯のタイミング , 真空, 57( 5), 193- 196, 2014年05月, https://doi.org/10.3131/jvsj2.57.193 

プラズマベースイオン注入(PBII)法を用いた窒素ガスによる自己点弧プラズマの密度算定 , 真空, 57( 5), 189- 192, 2014年05月,  https://doi.org/10.3131/jvsj2.57.189 

プラズマベースイオン注入法を用いたRFバーストプラズマによる放電特性 , 静電気学会講演論文集, 2014,  35- 36, 2014年,  

Power electronics education using the integrated circuit consistent education system and TCAD , 2013 IEEE Frontiers in Education Conference (FIE), ,  1456- 1458, 2013年12月, 10.1109/FIE.2013.6685074 

プラズマベースイオン注入法(PBII)を用いたオゾンプラズマの生成と滅菌への応用 , 医療機器学, 83( 2), 226- 226, 2013年04月01日,  

H23年度緑の分権改革推進事業計画（現状）と理科クラブを通した人材育成―学校教育の側面からー , 応用物理教育, 36( 1), 33- 38, 2012年06月,  

電気エネルギーの充電、貯蔵、利用の教育システムの構築 , 応用物理教育, 36( 1), 63- 68, 2012年05月,  

Disinfection and sterilization by using plasma-based ion implantation , ELECTROTECHNICA & ELECTRONICA, 48( 5-6), 268- 272, 2012年05月,  

Positive-plasma-bias method for plasma-based ion implantation and deposition , Surface and Coatings Technology, 204( 18-19), 2881- 2891, 2010年06月25日, https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2010.03.004 

Computer simulation of resist profiles at electron beam nanolithography , Microelectronics Engineering, 87( 5-8), 1108- 1111, 2010年05月,  

A simulation model for Chemically Amplified Resist CAMP6 , Microelectronic Engineering, 86( 4-6), 714- 717, 2009年04月,  

2輪倒立の物理モデルから電子制御実演までの教育システムの構築 , 応用物理教育, 32( 2), 63- 68, 2008年12月,  

Electron and ion beam lithography simulation for sub-quarter-micron patterns , Journal of Nanotechnology and its Applications, 2( 1), 32- 47, 2007年,  

Estimation of nitrogen ion energy calculated using distribution for nitrogen in Si implanted by PBII , Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, B242,  371- 373, 2006年01月,  

プラズマイオン注入滅菌法における窒素イオンエネルギーの推定 , 真空, 48( 5), 339- 342, 2005年05月, https://doi.org/10.3131/jvsj.48.339 

Plasma-based ion implantation sterilization technique and ion energy estimation , J. Vac. Sci. Technol., A23( 4), 1018- 1021, 2005年04月,  

Simulation of the energy absorption and the resist development at sub-150 nm ion lithography , Microelectronic Engineering, 78-79,  533- 539, 2005年03月,  

Generation of self-ignition plasma and extracted ion current in a burst RF inductively coupled plasma of carbon-containing gases , Surface & Coatings Technology, 186( 1-2), 187- 189, 2004年08月02日,  

Estimation of plasma density in after-glow region of RF burst plasma based on voltage–current characteristics , Surface & Coatings Technology, 186( 1-2), 53- 56, 2004年08月02日,  

Surface modification of PET films by plasma source ion implantation , Polymer Surface Modification: Relevance to Adhesion, 3,  69- 82, 2004年03月,  

プラズマイオン注入法を用いてポリエチレンテレフタレート（PET）フィルム上に成膜したカーボン薄膜の特性 , 真空, 47( 3), 220- 223, 2004年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.47.220 

棒状Si電極とPt点電極を組み合わせた姿勢センサの研究 , 計測自動制御学会論文集, 39( 12), 1085- 1092, 2003年12月,  

特集プラズマ応用の新しい展開 ２ PETボトルにビールを詰める , 電気学会誌, 123( 10), 645- 647, 2003年10月,  

X-ray photoelectron spectroscopy and magnetic properties in Fe-SiO2 granular films , J. Applied Physics, 94( 7 ), 4279- 4284, 2003年10月,  

Improvement of oxygen barrier of PET film with diamond-like carbon film by plasma-source ion implantation , Surface & Coatings Technology, 174-175( 9-10), 1033- 1037, 2003年09月,  

Experimental study on a new sterilization process using plasma source ion implantation with N2 gas , J. Vac. Sci. Technol., A21( 4), 1230- 1236, 2003年07月,  

Auger electron spectroscopy of high-speed-deformed Ni/Cu layers , Materials Science and Engineering, A350,  155- 159, 2003年06月15日,  

Investigation of diamond-like carbon formed on PET film by plasma-source ion implantation using C2H2 and CH4 , Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, B206,  712- 716, 2003年05月,  

Ion current extracted from a self ignition plasma around the target immersed in a pulsed rf ICP methane plasma , Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, B206,  817- 819, 2003年05月,  

Control of properties of thin films prepared by rf- dc coupled magnetron sputtering , Recent Res. Devel. Vacuum Sci. & Tech, 4,  191- 212, 2003年04月,  

多重磁極形高周波マグネトロンスパッタ法によるFe薄膜のスパッタガス圧力依存性 , 真空, 46( ３), 241- 244, 2003年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.46.241 

不活性ガスを用いたプラズマソースイオン注入（PSII）法による滅菌プロセス , 真空, 46( ３), 333- 336, 2003年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.46.333 

基本的な集積回路設計および半導体プロセス工学教育システムの構築 , 応用物理教育, 26( 2), 7- 12, 2002年12月,  

棒状Si電極による弱電解液液位計測法の基礎的研究 , 計測自動制御学会論文集, 38( 10), 815- 820, 2002年10月,  

Photoelectron Signal Simulation from Textured Samples with Modified Surface Composition , Surface and Interface Analysis, 34,  597- 600, 2002年09月18日,  

Improvement of oxygen barrier of PET film by plasma-source ion implantation of carbon , J. Vac. Sci. Technol., A20( 5), 1659- 1662, 2002年09月,  

Diamondlike carbon deposition on plastic films by plasma source ion implantation , J. Vac. Sci. Technol., A20( ３), 625- 633, 2002年05月,  

Surface analysis of impact compressed Cu-Ni multiplayer , J. of Surface Analysis, 9,  404- 407, 2002年03月,  

Amorphous carbon layer deposition on plastic film by PSII , Thin Solid Films, 420-421,  253- 258, 2001年12月02日,  

High rate Sputtering for Ni Films by rf-dc coupled magnetron Sputtering system with Multiploar Magnetic Plasma Confinement , J. Vac. Sci. Technol., A19( 4), 1438- 1441, 2001年07月, 10.1116/1.1351796 

Microstructure and electrical properties of CoNx thin films deposited by unbalanced magnetron sputtering , Vacuum, 62,  293- 296, 2001年06月15日,  

最近のスパッタリングとイオンプレーティング技術 高周波‐直流結合形マグネトロンスパッタリングによる薄膜物性制御 , 真空, 44( 4), 428- 434, 2001年04月20日, https://doi.org/10.3131/jvsj.44.428 

Effect of d.c. bias on the compositional ratio of WNx thin films prepared by r.f. – d.c. coupled magnetron sputtering , Applied Surface Science, 169-170,  362- 365, 2001年01月15日,  

Rapid Thermal annealing of CoxN , Materials and Manufacturing Processes, 16,  531- 540, 2001年,  

Effect of d.c. bias voltage on the deposition rate for Ni films by r.f. – d.c. coupled unbalanced-magnetron sputtering , Surface & coating Technology, 133-134,  295- 300, 2000年11月,  

Effect of d.c. bias on the deposition rate using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering for SnNx thin films , Vacuum, 59,  764- 770, 2000年11月,  

Photoelectron signal simulation from textured overlayer samples , Surface and Interface Analysis, 62( 2‐3), 552- 556, 2000年09月05日, 10.1016/S0042-207X(01)00155-5 

Preparation of Co and CoNx thin films by unbalanced r.f. magnetron sputtering , J. Vac. Sci. Technol., A18( 4), 1649- 1652, 2000年07月,  

高周波マグネトロンスパッタ法によるNi薄膜の堆積速度 , 真空, 43( 3), 311- 313, 2000年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.43.311 

高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるNiターゲットを用いた放電特性とNi薄膜の堆積速度のDC制御効果 , 真空, 43( 3), 307- 310, 2000年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.43.307 

高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるWNx薄膜の作製とCu/WNx/Si構造の拡散バリア効果 , 真空, 43( 3), 303- 306, 2000年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.43.303 

SiO2/Si多層構造のX線光電子分光法による評価 , J. of Surface Analysis, 7,  116- 121, 2000年02月,  

Photoelectron signal simulation from textured overlayer samples , Surface and Interface Analysis, 30,  552- 556, 2000年,  

Characterization for SiO2/Si and silicide/Si interface by x-ray photoelectron spectroscopy with the difference method , Journal of the Korean Vacuum Society, 9,  115- 120, 2000年,  

Evaluation of thin film surface topology shapes , Mathematics and Computers in Simulation, 49( 4-5), 275- 283, 1999年09月,  

Study on TiNx films and Ti target surface nitrided by rf dc coupled reactive magnetron sputtering , J. Vac. Sci. Technol., A16( 5), 3142- 3144, 1999年09月,  

Preparation of argon-free refractory thin films using RF-DC coupled magnetron sputtering , Vacuum, 53,  37- 39, 1999年05月,  

Preparation of MgxNi thin films by RF - DC coupled magnetron sputtering , Thin Solid Films, 343-344,  21- 23, 1999年04月,  

Effect of d.c. bias on the growth rate using RF - DC coupled magnetron sputtering for Mg thin films , Thin Solid Films, 343-344,  57- 59, 1999年04月,  

高周波一直流結合形マグネトロンスパッタ法によるSnNx薄膜の作製 , 真空, 42( 3), 269- 271, 1999年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.42.269 

X-ray Photoelectron Profilography , Journal of Surface Analysis, 5( 1), 82- 85, 1999年01月,  

Preparation of TiNx thin films using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering in Ar - N2 gas plasma , Thin Solid Films, 317,  93- 95, 1998年04月01日,  

高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるTiNx/Si構造の電気的特性 , 真空, 41( 3), 285- 288, 1998年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.41.285 

Ar-N2混合ガスを用いた高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法による窒化マグネシウム薄膜の作製 , 真空, 41( 3), 289- 291, 1998年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.41.289 

Preparation of Ta/Mo structure by using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering , Thin Solid Films, 312( 1-2), 135- 138, 1998年01月,  

Monte Carlo simulation of argon atoms transport during deposition of W thin films by RF – dc coupled magnetron sputtering , Vacuum, 48( 7-9), 669- 670, 1997年09月,  

Auスパッタリングを用いたX線光電子分光法における導電膜/絶縁基板の測定改善 , 真空, 40( 5), 464- 466, 1997年05月15日, https://doi.org/10.3131/jvsj.40.464 

高周波一直流結合形マグネトロンスパッタ法を用いたAr-N2中のTiターゲット表面組成 , 真空, 40( 3), 231- 233, 1997年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.40.231 

Transparent, conductive CuI films prepared by rf-dc coupled magnetron sputtering , Thin Solid Films, 281-282,  179- 181, 1996年08月,  

Growth kinetics of refractory metal thin films sputtered by r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering in Ar or Ne gas plasma , Vacuum, 46( 8-10), 1059- 1062, 1995年08月,  

光導電素子を用いた液晶空間光変調素子の設計 , 電子情報通信学会論文誌CI, J78-C-I( 6), 317- 319, 1995年06月,  

水素プラズマ曝露によるSnO2薄膜の環元 , 真空, 38( 3), 322- 325, 1995年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.38.322 

高周波アシスト直流マグネトロンスパッタ法による放電特性とTa薄膜の推積速度(共著) , 真空, 38( 3), 315- 317, 1995年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.38.315 

RF-DC結合形マグネットロンスパッタ法によるDC制御効果 , 電子情報通信学会論文誌, J77-C-II( 5), 229- 231, 1994年05月,  

高周波一直流結合形マグネトロンスパッタ法によるTa/Mo薄膜の形成 , 真空, 37( 3), 255- 257, 1994年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.37.255 

弗素化したSnO2薄膜の表面構造 , 真空, 37( 3), 252- 254, 1994年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.37.252 

Hydrogen Plasma Durability of Chemically Treated SnO２ Thin Films , Jpn. J. Appl. Phys, 32,  L1454- L1457, 1993年10月01日,  

Preparation of W and Mo thin films by rf-dc coupled magnetron sputtering , Materials Science and Engineering, A163( 2), 163- 165, 1993年04月15日,  

弗素化したTexfured SnO2 薄膜の水素プラズマ耐性 , 真空, 36( 3), 275- 277, 1993年03月, Ihttps://doi.org/10.3131/jvsj.36.275 

真空蒸着法による透明導電膜ヨウ化銅の作成 , 真空, 36( 3), 282- 284, 1993年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.36.282 

水蒸気を用いたSnO2 薄膜の表面改質(共著) , 真空, 36( 3), 278- 281, 1993年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.36.278 

RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるW薄膜の作製 , 真空, 35( 3), 377- 380, 1992年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.35.377 

透明導電膜の弗素化メカニズム , 真空, 35( 3), 368- 370, 1992年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.35.368 

Early Stages of Fluorine Enhanced Oxidation of Silicon , Solid State Electronics, 33,  117- 122, 1990年12月,  

Atomic layer growth of silicon by excimer laser induced cryogenic chemical vapor deposition , Appl. Phys. Lett., 56( 15), 1445- 1447, 1990年04月09日, https://doi.org/10.1063/1.102493 

レーザ誘起プロセスによる薄膜形成に関する基礎研究 , 学位論文, ,  1- 87, 1990年03月01日,  

Degital chemical vapor deposition and etching technologies for semiconductor processing , J. Vac. Sci. Technol., A8( 3), 1844- 1850, 1990年03月,  

Selective Growth of Polycrystalline Silicon By Laser Induced Cryogenic CVD , Jpn. J. Appl. Phys. Lett., 27( 11), L2149- L2151, 1988年11月01日,  

Initial Stage of Laser-Induced Selective Chemical Vapor Deposition of Silicon , Jpn. J. Appl. Phys., 26( 12), 2057- 2060, 1987年12月, https://doi.org/10.1143/JJAP.26.2057 

Low-temperature nitridation of fluorinated silicon dioxide in ammonia gas , Appl. Phys. Lett., 51( 13), 981- 983, 1987年09月,  

A New X-ray Lithographic Technique Using total Reflection of X-rays from a pattern plate , Japanese Journal of Applied Physics, 26( 3), 487- 491, 1987年03月,  

Si薄膜の選択レ－ザＣＶＤの初期過程 , レ－ザ－学会研究会報告, RTM-86( 38), 7- 11, 1987年02月20日,  

弗素増速反応によるシリコンの低温酸化 , 応用物理, 56( 1), 70- 75, 1987年01月, https://doi.org/10.11470/oubutsu1932.56.70 

Fluorine-enhanced photooxidation of silicon under ArF excimer laser irradiation in an O２+ NF３ gas mixture , Appl. Phys. Lett., 49( 12), 699- 700, 1986年09月,  

Demagnified projection printing by a new x-ray lithographic technique using no thin-film masks , Applied Physics Letters, 45( 1), 3- 5, 1984年07月01日, 10.1063/1.94997 

Ｘ線反射を用いる新しいパターン縮小転写法の開発とＳＯＲ光利用の有効性 , 第２回(1984)フォトン・ファクトリー・シンポジウムー放射光実験施設成果発表予稿集, ,  2- 2, 1984年,  

Utilization of Both Free 3DCG Software “Blender” and 3D Printing for Early STEM Education, , IEEE, 2020年12月08日, Proceedings of IEEE TALE2020 (An International Conference on Engineering, Technology and Education), ,  971- 974, 2020年12月08日 

A STEM Education Method Utilizing 3DCG Software “Blender", , The Society of Digital Information and Wireless Communications (SDIWC), 2020年12月, Proceedings of the Sixth International Conference on Electronics and Software Science (ICESS2020), ,  38- 43, 2020年12月 

Construction of a Preliminary Educational System for Fuel Cell Using Hydrogen, , IEEE, 2020年03月, , ,  126- 129,   

Electron Beam Processing of Materials. IE BAS - HIT joint research during the last 25 years, , 3rd Education and Research International Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2019年05月18日, Proceedings of the 3rd Education and Research International Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  kh-1- kh-2, 2019年05月18日 

DV‐Xα分子軌道法によるXPSスペクトルの理論と実験の教育システムの構築, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2019年03月02日, 電気学会研究会資料, ( FIE-19-001-014), 61- 66, 2019年03月02日 

初歩的な半導体プロセス教育へのTCADの応用, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2018年12月08日, 電気学会研究会資料, ( FIE-18-025-029), 23- 26, 2018年12月08日 

秘密分散技術を用いたデータ送信時の安全, , 第八回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2018年12月08日, 第八回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  h-jp-15- h-jp-15, 2018年12月08日 

Basic Consecutive System Considered Design, Process, Estimation, and Control Application of a Fundamental Integrated Circuit Education System and Its Application, , 2nd Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年12月08日, Proceedings of the 2nd Education and Research International Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  f-ek-1- f-ek-2, 2018年12月08日 

Preliminary Application of IoT Equipment with GPS System Using Sigfox Network, , 2nd Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年12月07日, Proceedings of the 2nd Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  k-ek-1- k-ek-2, 2018年12月07日 

発光・受光素子に基づく制御素子機能の考察, , 電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD-ROM), 2018年09月05日, 電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD-ROM) , 2018,  ROMBUNNO.GS8-2- ROMBUNNO.GS8-2, 2018年09月05日 

Construction of a preliminary file backup system for surface analysis date using secret sharing technique, , Thirteenth International Conference on Electron Beam Technologies(EBT2018), 2018年06月18日,  Thirteenth International Conference on Electron Beam Technologies(EBT2018), ,  160- 164, 2018年06月18日 

Main results obtained under HIT-BAS joint research for the last 5 years, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  K-1- K-1, 2018年05月06日 

Contact characteristic for Iridium-coated Probe, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  ek-11- ek-12, 2018年05月06日 

Preliminary simulation of Magnetron sputtering using Pegasus software, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  ek-9- ek-10, 2018年05月06日 

Applied voltage dependence of plasma characteristic for food sterilization using PBII method, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  ek-7- ek-8, 2018年05月06日 

Construction pf a preliminary file backup system for surface analysis data using secret sharing technique, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  ek-5- ek-6, 2018年05月06日 

Control of plasma parameters by Penning ion effect, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  ek-3- ek-4, 2018年05月06日 

A study of system construction for elementary instruction of virtual reality for beginners by students in electrical and electronic engineering, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  eh-4- eh-4, 2018年05月06日 

POSSIBLE SOLUTION FOR THE RECYCLING OF METAL WASTES THROUGH ELECTRON BEAM MELTING, , HIGH TECHNOLOGIES BUSINESS SOCIETY, 2018年03月12日, High Technologies, 1( 3), 84- 87, 2018年03月12日 

プラズマベースイオン注入法を用いたBacillus stearothermophilusの殺菌におけるパルス幅の最適化, , 日本農芸化学会大会, 2018年03月05日, 日本農芸化学会大会講演要旨集(Web) , 2018,  ROMBUNNO.2B03a04- ROMBUNNO.2B03a04, 2018年03月05日 

秘密分散技術を用いたファイルバックアップシステムの初歩的な教育システムの構築, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2018年03月02日, 電気学会研究会資料, ( FIE-18-001-015), 41- 45, 2018年03月02日 

2人用じゃんけん回路の設計と評価, , 電気学会電子回路研究会, 2018年01月18日, 電気学会研究会資料, ( ECT-18-001-009), 11- 16, 2018年01月18日 

Sigfox ネットワークを用いたIoT 機器の運用, , 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年11月25日, 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-10- 2-10, 2017年11月25日 

初歩的な自立式再生エネルギーシステムの構築, , 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年11月25日, 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-7- 2-7, 2017年11月25日 

ドローンを用いたスポーツ施設の照明の測定, , 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年11月25日, 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-14- 2-14, 2017年11月25日 

プラズマベースイオン注入法を用いた酸素ガスの放電特性, , 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年11月25日, 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-3- 2-3, 2017年11月25日 

クリーンルーム整備から,集積回路の一貫教育構築まで, , 電気学会電子・情報・システム部門大会, 2017年09月06日, 電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD-ROM) , 2017,  ROMBUNNO.TC22-4- ROMBUNNO.TC22-4, 2017年09月06日 

初歩的な自立式再生エネルギーシステムの構築, , 第 5回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年05月27日, 第 5回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-9- 2-9, 2017年05月27日 

リラックス状態と心拍数の初歩的な研究, , 第 5回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年05月27日, 第 5回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-21- 2-21, 2017年05月27日 

食品の殺菌に最適なプラズマ生成法と最適条件, , 第 5回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年05月27日, 第 5回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-13- 2-13, 2017年05月27日 

プラズマベースイオン注入法の理解のためのシミュレーションソフト(PEGASUS)の初歩的な応用, , 公益社団法人応用物理学会, 2017年03月01日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) , 64,  16a-P1-35- 16a-P1-35, 2017年03月01日 

8bit CPUの機能ブロック別設計・試作品報告, , 電気学会電子回路研究会, 2017年01月19日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-17( 1-21), 21- 26, 2017年01月19日 

８bit CPUの機能別ブロック別設計・試作報告, , 電気学会電子回路研究会, 2017年01月19日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-17,  21- 26, 2017年01月19日 

Refining effect of electron beam melting on recycling of nickel wastes, , The 40th International Spring Seminar on Electronics Technology, IEEE 2017, 2017年,  Proceedings of the 40th International Spring Seminar on Electronics Technology, IEEE 2017, ,  1- 6, 2017年 

Research and education systems in Bulgaria and Japan – comparison of the main features and some new approaches, , 4th Education and Research Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2016年11月26日, Proceedings of the 4th Education and Research Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  1-8- 1-9, 2016年11月26日 

Si結晶の計測方法とその電子状態の計算, , 第 3 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2016年05月28日, 第 3 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  22- 22, 2016年05月28日 

TCADを用いた初歩的なデバイス回路の設計と評価, , エレクトロニクス実装学会講演大会, 2016年03月22日, エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM), ,  ROMBUNNO.22P1-1- ROMBUNNO.22P1-1, 2016年03月22日 

イリジウム被膜型プローブの開発, , エレクトロニクス実装学会講演大会, 2016年03月22日, エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM), ,  ROMBUNNO.22P1-15- ROMBUNNO.22P1-15, 2016年03月22日 

TCADを用いたSiへのイオン注入の角度依存性, , 公益社団法人応用物理学会, 2016年03月21日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) , 63,  21A-P2-18- 21A-P2-18, 2016年03月03日 

TCADを用いたSiへのイオン注入とアニール効果, , 応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月03日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 63,  ROMBUNNO.21A-P2-17- ROMBUNNO.21A-P2-17, 2016年03月03日 

Puppyの動作特性における路面材料依存性, , 応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月03日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 63,  ROMBUNNO.21A-P2-3- ROMBUNNO.21A-P2-3, 2016年03月03日 

PBII法を用いた芽胞菌の殺菌に与える包装の影響に関する基礎研究, , 応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月03日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 63,  ROMBUNNO.19P-P5-1- ROMBUNNO.19P-P5-1, 2016年03月03日 

TCADを用いた初歩的なSiCパワー半導体プロセスの教育システムの構築, , 応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月03日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 63,  ROMBUNNO.21A-P2-16- ROMBUNNO.21A-P2-16, 2016年03月03日 

工学教育におけるアクティブラーニング 電子情報工学科の基礎科目における実践報告, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2016年02月28日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-16( 1-7.9-16), 29- 34, 2016年02月28日 

広島工業大学電子情報工学科における学修に対する体系的な取り組み, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2016年02月28日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-16( 1-7.9-16), 79- 84, 2016年02月28日 

時計用LSIチップの論理回路およびレイアウトの設計, , 電気学会電子回路研究会, 2016年01月21日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-16( 1-18), 17- 22, 2016年01月21日 

早期に研究を希望する学生への教育と効果の中間報告, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2015年12月11日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-15( 27-32.34), 33- 38, 2015年12月11日 

A preliminary Study on the effective utilization of electrical energy for environmental protection, , the 2nd Education and Research Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2015年11月07日, Proceedings of the 2nd Education and Research Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  5- 5, 2015年11月07日 

TCAD を用いた熱酸化膜形成時の活性化エネルギーの算出, , 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2015年11月07日, 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  27- 27, 2015年11月07日 

Low Power Consumption-ization of D-FF Flash ADC, , the 2nd Education and Research Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2015年11月07日, Proceedings of the 2nd Education and Research Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  13- 13, 2015年11月07日 

TCAD を用いたシミュレーションによるDeal-Grove モデルの理解, , 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2015年11月07日, 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  28- 28, 2015年11月07日 

２輪倒立モデルPuppy を用いた制御プログラムの検証時間に関する基礎研究, , 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2015年11月07日, 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  29- 29, 2015年11月07日 

高大連携事業による広島工業大学高等学校のMSC 大アリーナの照明のド ローンを用いた測定, , 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2015年11月07日, 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  32- 32, 2015年11月07日 

走行用基準前照灯(ハロゲン)の直視グレアの初歩的な測定, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集(CD−ROM), 2015年10月10日, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集(CD−ROM), 66,  ROMBUNNO.5-5- ROMBUNNO.5-5, 2015年10月10日 

スポーツ照明における空間照度のシミュレーション, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 2015年10月10日, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集(CD−ROM), 66,  ROMBUNNO.5-4- ROMBUNNO.5-4, 2015年10月10日 

国内学会発表を通した電気電子系学生の育成に向けて, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2015年09月05日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-15( 11-22), 53- 58, 2015年09月05日 

PBII法を用いた混合ガスプラズマのイオン密度算定, , 応用物理学会秋季学術講演会, 2015年08月31日, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集, 76,  ROMBUNNO.15P-PB2-47- ROMBUNNO.15P-PB2-47, 2015年08月31日 

PBII法を用いたペニング効果におけるHe,Ar添加の比較, , 応用物理学会秋季学術講演会, 2015年08月31日, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 76,  ROMBUNNO.15P-PB2-48- ROMBUNNO.15P-PB2-48, 2015年08月31日 

PBII法を用いたペニング効果のHe添加率依存性, , 応用物理学会秋季学術講演会, 2015年08月31日,  応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 76,  ROMBUNNO.15P-PB2-49- ROMBUNNO.15P-PB2-49, 2015年08月31日 

電磁気学教育のための手作りスピーカーによるアクティブラーニング, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  21- 21, 2015年05月23日 

エネルギーハーベストのための低消費電力フラッシュ型AD変換器, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  10- 11, 2015年05月23日 

PBII法の食品殺菌応用におけるO2へのHe添加によるHeペニングイオン効果の電圧電流波形による検討, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  18- 18, 2015年05月23日 

PBII法の食品殺菌応用におけるプラズマ分光特性によるぺニングイオン効果のHe添加比率依存性の検討, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  20- 20, 2015年05月23日 

水銀灯の輝度と照度, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  24- 24, 2015年05月23日 

LED・蛍光灯とのグレアの測定, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  23- 23, 2015年05月23日 

エネルギーハーベストのための超低電圧リング型発振器, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  22- 22, 2015年05月23日 

9個のvan der Pol発振器を環状にインダクタで結合した系にみられる波動現象, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, ,  8- 9, 2015年05月23日 

TCADを用いたLED教育システムの構築, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 2014年10月01日, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集(CD−ROM), 65,  ROMBUNNO.28-11- ROMBUNNO.28-11, 2014年10月01日 

ものづくりのための企業内教育(職場教育)—パワーエレクトロニクス—, , 電気・情報関係学会九州支部連合大会, 2014年09月11日, 電気・情報関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD−ROM), 67,  ROMBUNNO.06-1P-07- ROMBUNNO.06-1P-07, 2014年09月11日 

基礎教育と電子回路教育の架け橋, , 電気学会電子・情報・システム部門大会, 2014年09月03日, 電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD−ROM), 2014,  ROMBUNNO.TC14-3- ROMBUNNO.TC14-3, 2014年09月03日 

ものづくりのための企業内教育(職場内教育)—パワーエレクトロニクス—, , 電気学会基礎・材料・共通部門大会, 2014年08月, 電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集(CD−ROM), 2014,  ROMBUNNO.21-C-A2-2- ROMBUNNO.21-C-A2-2, 2014年08月21日 

プログラマブルデバイスの製図教育への導入, , 電気学会全国大会, 2014年03月05日, 電気学会全国大会講演論文集(CD−ROM), 2014,  ROMBUNNO.1-013- ROMBUNNO.1-013, 2014年03月05日 

小中高一貫した理科教育の取り組み, , 電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD−ROM), 2013年09月04日, 電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD−ROM), 2013,  ROMBUNNO.TC7-6- ROMBUNNO.TC7-6, 2013年09月04日 

Suggestion of an IC design education method for understanding intuitively and feelingly, , 2013 International Conference on Biometrics and Kansei Engineering, 2013年07月, , ,  305- 308, 2013年07月 

MCOR eラーニングを用いたモデルベース開発の教育システム構築, , 応用物理学会春季学術講演会, 2013年03月11日,  応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 60,  ROMBUNNO.28A-PA1-22- ROMBUNNO.28A-PA1-22, 2013年03月11日 

パワーデバイス教育システムへのTCADの初歩的な応用, , 応用物理学会春季学術講演会, 2013年03月11日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 60,  ROMBUNNO.28A-PA1-7- ROMBUNNO.28A-PA1-7, 2013年03月11日 

ものづくりための企業内教育(職場内教育)―パワーエレクトロニクス―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2013年03月05日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-13( 1-14), 63- 68, 2013年03月05日 

島根県飯石郡飯南町内施設の環境教育への応用, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2013年03月05日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-13( 1-14), 69- 74, 2013年03月05日 

電子デバイス設計作製評価および解析システムの構築, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2012年12月14日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-12( 35-46), 59- 62, 2012年12月14日 

TCADを用いたパワーデバイスの初歩的な教育システムの構築, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 2012年10月03日, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集(CD−ROM), 63,  62- 63, 2012年10月03日 

ものづくりのための企業内教育―リーマンショック後の研修体制―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2012年09月10日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-12( 19-24.26-34), 21- 26, 2012年09月10日 

蓄電システムを用いたエネルギー利用の教育システムの構築, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2012年09月10日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-12( 19-24.26-34), 15- 20, 2012年09月10日 

皮膜表面の状態識別可能な光角度センサ, , 日本溶射学会全国講演大会, 2012年06月18日, 日本溶射学会全国講演大会講演論文集, 95,  71- 72, 2012年06月18日 

IC設計の基礎技術に関する研究, , 電気学会電子回路研究会, 2011年06月30日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT−11( 47.49−60), 49- 52, 2011年06月30日 

CMOSアクティブインダクタ発振回路の周波数切り換え工程の線形化, , 電気学会電子回路研究会, 2011年03月24日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-11( 26-34), 37- 42, 2011年03月24日 

超音波を用いたNゲージ電車速度の計測, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2011年03月04日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-11( 1-19), 67- 71, 2011年03月04日 

ものづくりのための企業内教育(新入社員研修)—2010年度新入社員実力確認テスト結果—, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2011年03月04日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-11( 1-19), 47- 50, 2011年03月04日 

CMOSアクティブインダクタを適応した電圧制御発振器の検討, , 電気学会電子回路研究会, 2011年01月27日, 電気学会電子回路研究会資料 , ECT-11( 16-25), 1- 6, 2011年01月27日 

ものづくりのための企業内教育(半導体関連)―教育実施およびアンケート調査―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2010年09月08日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-10( 23-28), 63- 68, 2010年09月08日 

EXCELを用いた,高校における集積回路のレイアウト設計教育, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2010年09月08日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-10( 23-38), 69- 72, 2010年09月08日 

CMOSレイアウト設計・検証を行う実習教育のアンケート調査, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2010年09月08日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-10( 23-38), 59- 62, 2010年09月08日 

チップ試作を取り入れたLSI設計教育への取り組み, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2010年03月03日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-10( 1-12,14-22), 15- 20, 2010年03月03日 

ものづくりのための企業内教育(半導体関連)―教材作成―, , 電気学会電子回路研究会, 2010年01月21日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-10( 1-14), 51- 55, 2010年01月21日 

オゾン水供給装置の作成, , 電気学会プラズマ研究会, 2009年11月13日, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-09( 113-126), 5- 8, 2009年11月13日 

プラズマベースイオン注入滅菌法のための初歩的なプラズマシミュレーション, , 電気学会プラズマ研究会, 2009年08月06日, 電気学会プラズマ研究会資料 , PST-09( 22-40), 31- 35, 2009年08月06日 

滅菌法のための初歩的なプラズマシミュレーション, , 応用物理学会中国四国支部･日本物理学会中国支部･四国支部･日本物理教育学会中国四国支部支部学術講演会, 2009年07月, 応用物理学会中国四国支部･日本物理学会中国支部･四国支部･日本物理教育学会中国四国支部支部学術講演会講演予稿集, 2009,  153- 153, 2009年07月 

学部生へのICレイアウト設計・試作実験の一考察, , 電気学会電子回路研究会, 2009年06月11日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-09( 53-62), 41- 44, 2009年06月11日 

二輪倒立モデルの電子制御とV字サイクル開発手法との関係, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2009年03月06日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-09( 1-16), 41- 46, 2009年03月06日 

カーエレクトロニクスを題材とした電子情報技術の体験教育教材作成, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2009年03月06日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-09( 1-16), 47- 50, 2009年03月06日 

同軸2輪車型倒立振子のMATLAB/simulinkモデルの教育への応用, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2008年09月16日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-08( 13-24, 26-29), 37- 42, 2008年09月16日 

LSI設計教育への広島工業大学での取り組み―電子デバイス分野の集積回路設計関連教育を中心として―, , 電気学会電子回路研究会, 2006年11月09日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-06( 95-100), 9- 12, 2006年11月09日 

7セグメントドライバCMOSLSIの設計・製作・評価一貫教育システムの構築, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2006年03月03日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-06( 1-18), 73- 76, 2006年03月03日 

プラズマベースイオン注入法を用いてSi中に注入した窒素イオン分布のHRBSとSIMSの比較, , 真空に関する連合講演会講演予稿集, 2006年, 真空に関する連合講演会講演予稿集 , 47,  149- 149, 2006年 

システムLSI関連ものづくり教育における基本的な集積回路の作成, , 応用物理学会学術講演会, 2005年09月07日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 66( 1), 336- 336, 2005年09月07日 

高大連携によるシステムLSI関連ものづくり教育の活用, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2005年08月04日, 電気学会教育フロンティア研究会資料 , FIE-05( 18-31), 39- 42, 2005年08月04日 

基本的な集積回路システムの一貫設計作成評価に関する基礎研究, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2005年08月04日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-05( 18-31), 59- 64, 2005年08月04日 

プラズマベースイオン注入法によりSi中に注入した窒素の高分解能RBSによる測定, , 応用物理学関係連合講演会, 2005年03月29日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 52( 1), 188- 188, 2005年03月29日 

システムLSI関連ものづくり教育の構築～簡単なICチップの作成～, , 応用物理学関係連合講演会, 2005年03月29日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 52( 1), 486- 486, 2005年03月29日 

プラズマベースイオン注入法を用いてシリコン中に注入した窒素の高分解RBSデプスプロファイル, , 電気学会プラズマ研究会, 2005年03月03日, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-05( 1-15,17-19), 1- 5, 2005年03月03日 

社会人および学生,高校生のための教育における産官学連携―集積回路設計・半導体プロセス・集積回路応用―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2005年, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-05( 1-17), 45- 48, 2005年 

プラズマベースイオン注入法を用いたPET膜中への注入イオンのシミュレーション, , 電気学会プラズマ研究会, 2004年10月22日, 電気学会プラズマ研究会資料 , PST-04( 70, 72-81), 51- 54, 2004年10月22日 

PBII法による滅菌技術のための窒素イオンのデプスプロファイル, , 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2004年09月01日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集 , 65( 1), 121- 121, 2004年09月01日 

プラズマベースイオン注入法を用いた滅菌技術のためのシリコン中の窒素デプスプロファイル, , 電気学会プラズマ研究会, 2004年07月27日, 電気学会プラズマ研究会資料 , PST-04( 13-29), 45- 49, 2004年07月27日 

社会人および学生のための教育における産官学連携―白色LED発光制御ボード・ARM体験講座の企画および実施―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2004年07月13日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-04( 20,22-28), 29- 33, 2004年07月13日 

初歩的なシステムLSI設計教育におけるものづくりの取り組み―プリント基板の作成およびプロセスシミュレーション― テムLSI設計教育におけるものづくりの取り組み―プリント基板の作成およびプロセスシミュレーション―, , 応用物理学関係連合講演会, 2004年03月28日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 51( 1), 459- 459, 2004年03月28日 

N2ガスを使用したPBII法による滅菌プロセスにおける印加電圧効果, , 応用物理学関係連合講演会, 2004年03月28日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 51( 1), 158- 158, 2004年03月28日 

社会人および学生のための教育における産官学連携―1日ARM体験講座の企画および実施―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2004年03月05日, 電気学会教育フロンティア研究会資料 , FIE-04( 14-19), 5- 8, 2004年03月05日 

社会人および学生のための教育における産官学連携―白色LED発光制御ボード作成体験講座の企画および実施―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2004年03月05日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-04( 14-19), 1- 4, 2004年03月05日 

コンピュータ演算装置に関する''ものづくり教育''と高大連携, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2004年, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-04( 29-37), 29- 35, 2004年 

社会人および学生のための教育における産官学連携―LSI設計1日体験学習講座の企画および実施―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2003年09月11日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-03( 21-33), 37- 40, 2003年09月11日 

プラズマベースイオン注入(PBII)法を用いた滅菌プロセスにおける処理時間依存性, , 応用物理学会学術講演会, 2003年08月30日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集 , 64( 1), 104- 104, 2003年08月30日 

社会人および学生のための教育における産官学連携―大規模集積回路関連設計・プロセス工学講座の企画および実施―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2003年05月30日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-03( 10-20), 25- 28, 2003年05月30日 

学内ネットワーク(HITNET)を用いたアナログ・ディジタル集積回路関連設計・プロセス工学教育システムの構築, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2003年05月30日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-03( 10-20), 21- 24, 2003年05月30日 

アナログ・ディジタル集積回路関連設計・プロセス工学のWeb‐base遠隔教育システム, , 応用物理学関係連合講演会, 2003年03月27日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 50( 1), 487- 487, 2003年03月27日 

RFバースト炭素系アフターグロー中のプラズマ密度, , 電気学会プラズマ研究会, 2003年03月13日, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-03( 1-10), 31- 36, 2003年03月13日 

マイナスイオン発生における針状電極形状および配列の効果, , 電気学会プラズマ研究会, 2003年03月13日, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-03( 1-10), 37- 40, 2003年03月13日 

Introduction of LSI Layout Design to High School Education as Visualized Manufacturing Study, , 2nd Japan-Thailand Friendship International Workshop on Science, Technology & Education, 2002年11月, , ,  65- 68, 2002年11月 

バーストICPプラズマ中に浸されたターゲット印加電圧のSPICEによる解析, , 電気学会プラズマ研究会, 2002年10月26日, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-02( 114-123), 43- 46, 2002年10月26日 

プラズマイオン注入等価回路を基礎としたRFバーストICPにおけるプラズマ密度の算定, , 電気学会プラズマ研究会, 2002年10月26日, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-02( 114-123), 37- 42, 2002年10月26日 

基本的なアナログ・ディジタル集積回路設計システム教育, , 応用物理学会学術講演会, 2002年09月24日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集 , 63( 1), 399- 399, 2002年09月24日 

N2ガスを使用したPSII法による新しい滅菌プロセスに関する実験研究, , 応用物理学会学術講演会, 2002年09月24日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集 , 63( 1), 114- 114, 2002年09月24日 

Improvement of oxygen barrier of PET film with diamond-like carbon film by plasma-source ion implantation, , 8th International Conference on Plasma Surface Engineering, 2002年09月09日, , ,  ThOB3- ThOB3, 2002年09月09日 

Ion Current Extracted From a Self Ignition Plasma Around The Target Immersed In A Pulsed ICP RF Methane Plasma, , International Conference on Ion Beam Modification of Materials, 2002年09月01日, Abstract of International Conference on Ion Beam Modification of Materials, ,  P2-035- P2-035, 2002年09月01日 

Investigation of diamond-like carbon formed on PET film by plasma-source ion implantation using C2H2 and CH4, , International Conference on Ion Beam Modification of Materials, 2002年09月01日, , ,  P2-020- P2-020, 2002年09月01日 

Amorphous carbon layer deposition on plastic film by PSII, , International Conference on Metallurgical Coating and Thin Films, 2002年04月22日, , ,  24- 24, 2002年04月22日 

Ar-N2混合ガス中における多重磁極RFマグネトロンスパッタ法によるFe‐N系薄膜の作製, , 応用物理学関係連合講演会, 2002年03月27日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 49( 2), 618- 618, 2002年03月27日 

PSII法を用いてPETフィルム上に堆積させたカーボン系薄膜の化学結合状態, , 応用物理学関係連合講演会, 2002年03月27日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 49( 2), 583- 583, 2002年03月27日 

PSII法を用いてPETフィルム上へ成膜したカーボン薄膜の酸素透過率評価, , 応用物理学関係連合講演会, 2002年03月27日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 49( 2), 583- 583, 2002年03月27日 

Fe－SiO2グラニュラー膜のXPS分析, , 電気学会マグネティックス研究会, 2002年03月14日, 電気学会マグネティックス研究会資料, MAG-02-38,  51- 56, 2002年03月14日 

PSII法を用いてPETフィルム上に形成したカーボン薄膜のXPS研究, , 電気学会放電研究会, 2001年12月10日, 電気学会研究会誌, ( ED-01-261), 47- 51, 2001年12月10日 

平行平板の表面形状による静電容量型センサ出力の距離変動特性, , 計測自動制御学会中国支部学術講演会, 2001年12月01日, 計測自動制御学会中国支部学術講演会論文集, 10,  82- 83, 2001年12月01日 

棒状Si電極による弱電解液位の連続測定法の研究, , 自動制御連合講演会, 2001年11月22日, 自動制御連合講演会前刷 , 44,  148- 149, 2001年11月22日 

Surface analysis of impact compressed Cu-Ni multiplayer, , International symposium on Practical Surface Analysis, 2001年11月19日, bstracts of International symposium on Practical Surface Analysis , ,  54- 54, 2001年11月19日 

多重磁極形高周波マグネトロンスパッタ法によるFe薄膜の作製, , 真空に関する連合講演会, 2001年10月17日, 真空に関する連合講演会講演予稿集, 42,  218- 219, 2001年10月17日 

プラズマイオン注入法を用いたTiNx薄膜の形成, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 2001年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Bp-3- Bp-3, 2001年07月 

高周波多重磁極スパッタ法によるNi薄膜の作製, , 応用物理学関係連合講演会, 2001年03月28日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 48( 2), 613- 613, 2001年03月28日 

RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるTiNix薄膜の作製, , 電子情報通信学会大会, 2001年03月07日, 電子情報通信学会大会講演論文集, 2001 エレクトロニクス 2,  26- 26, 2001年03月07日 

Characterization for SiO2/Si and silicide/Si interface by x-ray photoelectron spectroscopy with difference method, , he 3rd Korea-Japan International Symposium on Surface Analysis, 2000年11月02日, , ,  25- 25, 2000年11月02日 

High rate sputtering for Ni films by r.f.-d.c. coupled magnetron sputtering system with multipolar magnetic plasma confinement, , AVS 47th International Symposium, 2000年10月02日, , ,  98- 98, 2000年10月02日 

広島工業大学における集積回路関連設計・プロセス工学教育（Ⅲ）, , 応用物理学会講演会, 2000年09月03日, 応用物理学会講演会予稿集, 61( 1), 377- 377, 2000年09月03日 

X線光電子分光法によるZnSe/MgS超格子のデプスプロファイルについて, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 2000年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Ba-10- Ba-10, 2000年07月 

Photoelectron Signal Simulation from Textured Samples Covered by a Thin Film, , 5th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 2000年06月04日, Proc. 5th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, ,  123- 123, 2000年06月04日 

Rapid Thermal Annealing of CoNx, , 6th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 2000年06月04日, Proc. 6th Int. Conf. on Electron Beam Technologies , ,  116- 116, 2000年06月04日 

Microstructure and Electrical Properties of CoNx Thin Films Deposited by Unbalanced Magnetron Sputtering, , 6th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 2000年06月04日, Proc. 6th Int. Conf. on Electron Beam Technologies , ,  114- 115, 2000年06月04日 

Effect of d.c. bias voltage on the deposition rate for Ni films by r.f. – d.c. coupled unbalanced-magnetron sputtering, , International Conference on Metallurgical Coating and Thin Films, 2000年04月10日, , ,  BP-3- BP-3, 2000年04月10日 

広島工業大学における集積回路関連設計・プロセス工学教育(II), , 応用物理学会講演会, 2000年03月28日, 応用物理学会講演会予稿集, 47( 1), 451- 451, 2000年03月28日 

ＳｉＯ２／Ｓｉ多層構造のＸ線光電子分光法による評価, , ＰＳＡ９９実用表面分析講演会, 1999年11月04日, ＰＳＡ９９実用表面分析講演会, ,  A5- A5, 1999年11月04日 

Preparation of Co and CoNx thin films by unbalanced r.f. magnetron sputtering, , AVS 46th International Symposium, 1999年10月25日, , ,  TF-TuA1- TF-TuA1, 1999年10月25日 

Photoelectron Signal Simulation from Textured Overlayer Samples, , 8th European Conference on Applications on Surface and Interface Analysis, 1999年10月04日, , ,  TU-TC07- TU-TC07, 1999年10月04日 

広島工業大学における集積回路関連設計・プロセス工学教育（I）, , 応用物理学会講演会, 1999年09月01日, 応用物理学会講演会予稿集, 60( 1), 374- 374, 1999年09月01日 

RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法を用いたMgｘCu薄膜の作製(II), , 応用物理学会講演会, 1999年09月01日, 応用物理学会講演会予稿集, 60( 2), 495- 495, 1999年09月01日 

Effect of d.c. bias on the deposition rate using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering for SnNx thin films, , 5th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes, 1999年06月16日, Proc. 5th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes , ,  211- 212, 1999年06月16日 

RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法を用いたMgｘCu薄膜組成のDC制御効果, , 応用物理学会講演会, 1999年03月28日, 応用物理学会講演会予稿集, 46( 2), 668- 668, 1999年03月 

X-ray Photoelectron Profilography, , International symposium on Practical Surface Analysis, 1998年10月19日, Abstracts of International symposium on Practical Surface Analysis , ,  P-2- P-2, 1998年10月19日 

Textured surface analysis by x-ray photoelectron spectroscopy, , ELECTRONICA, 1998年10月, Abstracts of ELECTRONICA, ,  29- 35, 1998年10月 

XPS profilography through angle resolved spectra, , ELECTRONICA, 1998年10月, Abstracts of ELECTRONICA, ,  36- 41, 1998年10月 

RF-DC結合形反応マグネトロンスパッタ法によるSnNx薄膜成長速度のDC制御効果, , 応用物理学会講演会, 1998年09月, 応用物理学会講演会予稿集, 59( 2), 519- 519, 1998年09月 

Evaluation of Thin Film Surface Topology Shape and Depths Profiling, , IVC-14, 1998年08月31日, Abstracts of IVC-14, ,  52- 52, 1998年08月31日 

Effect of d.c. bias on the growth rate using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering for Mg thin films, , IVC-14, 1998年08月31日, Abstracts of IVC-14, ,  351- 351, 1998年08月31日 

Preparation of Argonfree Refractory Thin Films by using RF - DC coupled magnetron sputtering for Mg thin films, , IVC-14, 1998年08月31日, Abstracts of IVC-14, ,  178- 178, 1998年08月31日 

Preparation of MgxNi thin films using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering, , IVC-14, 1998年08月31日, Abstracts of IVC-14, ,  339- 339, 1998年08月31日 

RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法を用いたMgｘNi薄膜組成のDC制御効果, , 応用物理学会講演会, 1998年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 45( 2), 532- 532, 1998年03月 

RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるＭｇＮｘ薄膜の作成, , 応用物理学会講演会, 1997年10月, 応用物理学会講演会予稿集, 58( 2), 495- 495, 1997年10月 

RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法を用いたＭｇ薄膜の基板ＤＣバイアス効果, , 応用物理学会講演会, 1997年10月, 応用物理学会講演会予稿集, 58( 2), 498- 498, 1997年10月 

RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法により作製したＴｉＮｘ／Ｓｉショットキー障壁のＤＣバイアス効果, , 応用物理学会講演会, 1997年10月, 応用物理学会講演会予稿集, 58( 2), 500- 500, 1997年10月 

Ｘ線光電子分光法におけるデプスプロファイルとＸ線照射における帯電防止, , ＰＳＡ９７実用表面分析講演会, 1997年06月18日, ＰＳＡ９７実用表面分析講演会, ,  36- 37, 1997年06月18日 

Stoichiometry control in rf-dc coupled magnetron sputtering of AlNx, , Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 1997年06月02日, Proc. 5th Int. Conf. on Electron Beam Technologies , ,  295- 299, 1997年06月02日 

X-ray Photoelectron Spectroscopy Measurements of TiNx Films and Ti Target Surface Nitrided by r.f.-d.c. Coupled Reactive Magnetron Sputtering, , 5th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 1997年06月02日, Proc. 5th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, ,  300- 305, 1997年06月02日 

RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるＭｇ薄膜の形成, , 応用物理学会講演会, 1997年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 44( 2), 461- 461, 1997年03月 

Preparation of TiNx thin films using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering in Ar - N2 gas plasma, , ICTF-10/EVC-5, 1996年09月23日, Abstracts of ICTF-10/EVC-5, ,  15- 15, 1996年09月23日 

Monte carlo simulation of argon atoms transport during deposition of W thin films by r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering in Ar - N2 gas plasma, , ICTF-10/EVC-5, 1996年09月23日, Abstracts of ICTF-10/EVC-5, ,  261- 261, 1996年09月23日 

RF‐DC結合型マグネトロンスパッタ法によるTiNx膜の形成, , 応用物理学会学術講演会, 1996年09月, 応用物理学会学術講演会講演予稿集 , 57( 2), 450- 450, 1996年09月 

RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるAr‐N2ガスの放電特性とTiターゲット表面組成, , 電子情報通信学会大会講演会, 1996年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1996( Sogo Pt 5), 16- 16, 1996年03月 

N2‐H2プラズマ処理によるSnO2薄膜の水素プラズマ耐性改善, , 電子情報通信学会大会講演会, 1996年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1996( Sogo Pt 5), 17- 17, 1996年03月 

RF‐DC結合形マグネトロンスパッタリングにおけるW薄膜中のAr量, , 応用物理学関係連合講演会, 1996年03月, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 43( 2), 476- 476, 1996年03月 

薄膜センサによる微流速・流向計測法の研究, , 計測自動制御学会学術講演会, 1996年, 計測自動制御学会学術講演会予稿集 , 35th No.Domestic Session Vol.2,  639- 640, 1996年 

Auスパッタリングを用いたX線光電子分光法における導電膜/絶縁基板の測定改善, , 真空に関する連合講演会, 1996年, 真空に関する連合講演会講演予稿集, 37,  149- 150, 1996年 

RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるAr‐N2ガスを用いたTiNx薄膜の作製, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集, 1996年, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集, 47,  71- 71, 1996年 

RF‐DC結合型電源を用いたプラズマ処理によるITO薄膜表面の窒素化, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1996年, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集 , 47,  70- 70, 1996年 

RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるTiターゲット表面組成のDCバイアス効果, , 真空に関する連合講演会, 1996年, 真空に関する連合講演会講演予稿集, 37,  145- 146, 1996年 

窒素プラズマ処理によるSnO2薄膜の水素プラズマ耐性改善, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1995年10月, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集 , 46,  54- 54, 1995年10月 

RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるAr‐N2ガスの放電特性とターゲット表面組成評価, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1995年10月, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集, 46,  53- 53, 1995年10月 

Transparent, conductive CuI films prepared by rf-dc coupled magnetron sputtering, , IVC-13/ICSS-9, 1995年09月25日,  Abstracts 　of IVC-13/ICSS-9, ,  400- 400, 1995年09月25日 

RF‐DC結合型マグネトロンスパッタリングにより作成したTa/ITO界面の評価, , 真空に関する連合講演会, 1995年07月15日, 真空に関する連合講演会講演予稿集 , 36,  144- 145, 1995年07月15日 

RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるAlNx薄膜の組成制御, , 電子情報通信学会大会講演会, 1995年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1995( Society C2), 30- 30, 1995年09月 

RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるW薄膜の成長速度へのHe添加効果, , 電子情報通信学会大会講演会, 1995年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1995( Sogo Pt 5), 32- 32, 1995年03月 

RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法により作製したAl/ITO界面の評価, , 電子情報通信学会大会講演会, 1995年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集 , 1995( Sogo Pt 5), 31- 31, 1995年03月 

ゾル・ゲル法で形成したSnO2薄膜のNF3+O2アニール, , 応用物理学関係連合講演会, 1995年03月, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 42( Pt 2), 404- 404, 1995年03月 

ゾル・ゲル法により形成したSiOx薄膜のNF3+O2アニール効果, , 電子情報通信学会大会講演会, 1995年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1995( Sogo Pt 5 ), 36- 36, 1995年03月 

SiO2/Si界面及びSi表面のX線光電子分光法による評価, , 真空に関する連合講演会講演予稿集, 1995年, 真空に関する連合講演会講演予稿集, 36,  24- 25, 1995年 

RF‐DC結合型プラズマCVD法によるa‐Si:H薄膜の成長速度, , 電子情報通信学会大会講演会, 1994年09月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1994( Shuki Pt 5), 18- 18, 1994年09月 

ゾル・ゲル法によるSnO２薄膜の作製, , 応用物理学会学術講演会, 1994年09月, 応用物理学会学術講演会講演予稿集 , 55( 2), 403- 403, 1994年07月 

Growth kinetics of refractory metal thin films sputtered by r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering during Ar and Ne gas plasma, , 4th European Vacuum Conference and 1st Swedish Vacuum Meeting, 1994年06月13日, Abstracts of 4th European Vacuum Conference and 1st Swedish Vacuum Meeting , ,  TF73- TF73, 1994年06月13日 

Effect of deposition rate on DC bias voltage by using RF-DC coupled magnetron sputtering, , 4th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 1994年06月11日,  Proc. 4th Int. Conf. on Electron Beam Technologies , ,  238- 238, 1994年06月11日 

Preparation of Ta/Mo structure by RF -DC coupled magnetron sputtering, , Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 1994年06月06日, Proc. 4th Int. Conf. on Electron Beam Technologies , ,  232- 232, 1994年06月06日 

熱駆動マイクロバルーンによる空間光変調素子の開発, , 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会, 1994年06月, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集, 1994－B,  969- 970, 1994年06月 

リニアアクチュエータの設計及び製作, , 平成五年度電子情報通信学会学生会研究発表会, 1994年03月, 平成五年度電子情報通信学会学生会研究発表会予稿集, ,  25- 25, 1994年03月 

弗素化したSnO２薄膜表面構造 －角度分解Ｘ線光電子分光法－, , 応用物理学会講演会, 1994年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 41( 2), 368- 368, 1994年03月 

集積化平面型薄膜インダクタの設計及び製作, , 平成五年度電子情報通信学会学生会研究発表会, 1994年03月, 平成五年度電子情報通信学会学生会研究発表会予稿集, ,  25- 25, 1994年03月 

弗素化したSnO2薄膜表面構造―角度分解X線光電子分光法, , 応用物理学関係連合講演会, 1994年03月, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 41( Pt 2), 368- 368, 1994年03月 

液晶空間光変調素子における光導電層の設計 (II) CdS受光素子を用いた光スイッチング, , 電子情報通信学会大会講演会, 1994年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集 , 1994( Shunki Pt 5), 5.128- 5.128, 1994年03月 

液晶空間光変調素子における光導電層の設計 (I) 回路シミュレーション, , 電子情報通信学会大会講演会, 1994年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1994( Shunki Pt 5), 5127- 5.127, 1994年03月 

液晶空間光変調素子における光導電層の設計(I)－回路シミュレーション－, , 電子情報通信学会, 1994年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, ,  5.127- 5.127, 1994年03月 

液晶空間光変調素子における光導電層の設計(II)－ＣｄＳ受光素子を用いた光スイッチング－, , 電子情報通信学会大会講演会, 1994年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, ,  5.128- 5.128, 1994年03月 

ＲＦ－ＤＣ結合形マグネトロンスパッタ法によるＴａ／Ｗ及びＴａ／Ｍｏ薄膜の形成, , 電子情報通信学会大会講演会, 1994年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1994( Shunki Pt 5), 5.43- 5.43, 1994年03月 

RFアシストDCマグネトロンスパッタ法による放電特性とTa薄膜の堆積速度, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1994年, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集, 45,  238- 238, 1994年 

ゾル・ゲル法により形成したSiOX薄膜のアニール効果, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1994年, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集 , 45,  237- 237, 1994年 

ゾル・ゲル法で形成したSnO2薄膜表面のOH結合, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1994年, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集, 45,  239- 239, 1994年 

RFアシストDCマグネトロンスパッタ法による放電特性とW薄膜の堆積速度, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1994年, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集, 45,  240- 240, 1994年 

RFアシストDCマグネトロンスパッタ法による放電特性とTa薄膜の堆積速度, , 真空に関する連合講演会, 1994年, 真空に関する連合講演会講演予稿集 , 35,  169- 170, 1994年 

水素プラズマ曝露によるSnO2薄膜表面の還元, , 真空に関する連合講演会, 1994年, 真空に関する連合講演会講演予稿集 , 35,  177- 178, 1994年 

RF-DC結合形ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｽﾊﾟｯﾀ法によるTa/W薄膜の作成, , 平成５年度電気・情報関連学会中国支部第44回連合大会, 1993年10月, 平成５年度電気・情報関連学会中国支部第44回連合大会予稿集, ,  25- 25, 1993年10月 

RF-DC結合形ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｽﾊﾟｯﾀ法によるTa/Mo薄膜の作成, , 第34回真空に関する連合講演会, 1993年10月, 第34回真空に関する連合講演会予稿集, ,  25- 25, 1993年10月 

弗素化したSnO２薄膜の表面構造, , 第34回真空に関する連合講演会, 1993年10月, 第34回真空に関する連合講演会予稿集, ,  25- 25, 1993年10月 

TN型液晶表示デバイスにおけるコントラスト比の入射波長依存性, , 電子情報通信学会, 1993年09月, , ,  25- 25, 1993年09月 

パルス光による液晶表示素子の光透過率の制御, , 電子情報通信学会, 1993年09月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1993年09月 

RF-DC結合電源によるSnO２薄膜表面の水素プラズマ耐性改善, , 応用物理学会講演会, 1993年09月, 応用物理学会講演会予稿集, 54( 2), 499- 499, 1993年09月 

RF-DC結合形ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｽﾊﾟｯﾀ法によるTa薄膜の作成, , 電子情報通信学会, 1993年09月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1993年09月 

薄膜を用いた弱電界液の微流速・流向センサ開発, , 計測自動制御学会, 1993年08月, 計測自動制御学会予稿集, ,  25- 25, 1993年08月 

熱駆動マイクロセルアレイによる空間変調素子の開発, , 日本機械学会, 1993年08月, 日本機械学会予稿集, ,  25- 25, 1993年08月 

RF-DC結合形ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｽﾊﾟｯﾀ法によるTa/TaNＸ薄膜の作成, , 日本物理学会・ 応用物理学会中四国支部例会, 1993年07月, 日本物理学会・ 応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Epｰ13- Epｰ13, 1993年07月 

弗素化したSnO２薄膜表面のAFMによる観察, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 1993年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Epｰ14- Epｰ14, 1993年07月 

SnO２薄膜表面改質による水素プラズマ耐性改善, , 電子情報通信学会, 1993年03月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1993年03月 

RF-DC結合マグネトロンスパッタ法による透明導電膜ヨウ化銅の作成, , 応用物理学会講演会, 1993年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 40( 2), 400- 400, 1993年03月 

アルゴン及びネオンガスを用いたRF-DC結合マグネトロンスパッタ法によるMo薄膜の形成－DC制御効果－, , 電子情報通信学会, 1993年03月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1993年03月 

液浸法により付着した金属/SnO２/ｶﾞﾗｽ構造の水素プラズマ耐性, , 電子情報通信学会, 1993年03月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1993年03月 

光スイッチによる液晶表示デバイスの光透過率の制御, , 平成四年度電子情報通信学会学生会研究発表会, 1993年03月, 平成四年度電子情報通信学会学生会研究発表会予稿集, ,  25- 25, 1993年03月 

ＴＮ型液晶表示デバイスの作製 －ラビング効果－, , 平成四年度電子情報通信学会学生会研究発表会, 1993年03月, 平成四年度電子情報通信学会学生会研究発表会予稿集, ,  25- 25, 1993年03月 

水蒸気処理によるSnO２薄膜の水素プラズマ耐性改善(II), , 応用物理学会講演会, 1993年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 40( 2), 400- 400, 1993年03月 

PREPARATION OF W AND Mo THIN FILMS BY RF-DC COUPLED MAGNETRON, , IVC-12/ICSS-8, 1992年10月12日, Abstracts of IVC-12/ICSS-8, ,  491- 491, 1992年10月12日 

PREPARATION OF W AND Mo THIN FILMS BY RF-DC COUPLED MAGNETRON, , IVC-12/ICSS-8, 1992年10月12日,  Abstracts of IVC-12/ICSS-8, ,  491- 491, 1992年10月12日 

弗素化したTextured SnO２薄膜の水素プラズマ耐性, , 第33回真空に関する連合講演会, 1992年10月, 第33回真空に関する連合講演会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 

ITO及びSnO２薄膜の水素プラズマ処理, , 平成４年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会, 1992年10月, 平成４年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 

RF-DC結合マグネトロンスパッタ法におけるDC制御効果, , 平成４年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会, 1992年10月, 平成４年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 

Textured SnO２薄膜の表面改質(II) －角度分解Ｘ線光電子分光法－, , 平成４年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会, 1992年10月, 平成４年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 

Ｘ線光電子スペクトルのデータ転送, , 平成４年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会, 1992年10月, 平成４年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 

透明導電膜CuIの作成, , 第33回真空に関する連合講演会, 1992年10月, 第33回真空に関する連合講演会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 

RF-DC結合マグネトロンスパッタ法によるW薄膜の結晶構造と電気的特性, , 平成４年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会, 1992年10月, 平成４年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 

水蒸気を用いた SnO２薄膜の表面改質, , 第33回真空に関する連合講演会, 1992年10月, 第33回真空に関する連合講演会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 

エチルアルコール蒸気処理によるSnO２薄膜の水素プラズマ耐性改善, , 応用物理学会講演会, 1992年09月, 応用物理学会講演会予稿集, 53( 2), 421- 421, 1992年09月 

広島工業大学における電子デバイス教育, , 応用物理学会講演会, 1992年09月, 応用物理学会講演会予稿集, 53( 1), 350- 350, 1992年09月 

酸性亜鉛メッキ法と熱酸化法を用いたZnOＸ/SnO２/GLASS構造の水素プラズマ耐性, , 電子情報通信学会, 1992年09月, 電子情報通信学会, ,  25- 25, 1992年09月 

SnO２薄膜のアルコール処理, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 1992年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Ap-12- Ap-12, 1992年07月 

Textured SnO２薄膜の表面改質, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 1992年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Ap-13- Ap-13, 1992年07月 

ITO薄膜の弗素化処理 －角度分解ＸＰＳ法－, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 1992年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Apｰ10- Apｰ10, 1992年07月 

酸性亜鉛メッキ法による透明導電膜上へのZn膜の成長, , 日本物理学会・応用物理 学会中四国支部例会, 1992年07月, 日本物理学会・応用物理 学会中四国支部例会予稿集, ,  Ap-11- Ap-11, 1992年07月 

水蒸気処理によるSnO２薄膜の水素プラズマ耐性改善, , 応用物理学会講演会, 1992年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 39( 2), 374- 374, 1992年03月 

SnO２薄膜の水素プラズマ処理効果（II）, , 電子情報通信学会, 1992年03月, 電子情報通信学会, ,  25- 25, 1992年03月 

SnO２薄膜の水素プラズマ処理 一角度分解XPS法ー, , 平成３年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会, 1991年10月, 平成３年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会予稿集, ,  48- 48, 1991年10月 

透明導電膜の弗素化メカニズム, , 第32回真空に関する連合講演会, 1991年10月, 第32回真空に関する連合講演会予稿集, ,  31P-20- 31P-20, 1991年10月 

学部過程におけるマイクロエレクトロニクス実験, , 平成３年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会, 1991年10月, 平成３年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会予稿集, ,  342- 342, 1991年10月 

SnO２薄膜の弗素化メカニズム, , 平成３年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会, 1991年10月, 平成３年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会予稿集, ,  49- 49, 1991年10月 

ITO薄膜の弗素化メカニズム, , 平成３年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会, 1991年10月, 平成３年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会予稿集, ,  50- 50, 1991年10月 

RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるＷ薄膜の作製, , 第32回真空に関する連合講演会, 1991年10月, 第32回真空に関する連合講演会予稿集, ,  31P-23- 31P-23, 1991年10月 

SnO２薄膜の水素プラズマ処理効果, , 電子情報通信学会, 1991年09月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1991年09月 

透明導電膜の表面改質, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 1991年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  議Pa4- 議Pa4, 1991年07月 

透明導電膜の水素プラズマ処理, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 1991年03月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  議Pa3- 議Pa3, 1991年03月 

SnO２薄膜表面の弗素化処理によるa-Si:H中へのSn拡散の抑制, , 応用物理学会講演会, 1991年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 38( 38), 745- 745, 1991年03月 

ITO薄膜の表面弗素化, , 電子情報通信学会, 1991年03月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1991年03月 

集積回路教育システムを用いた、リングオシレータの設計及び製作, , 平成２年度電子情報通信学会学生会研究発表会, 1990年12月, 平成２年度電子情報通信学会学生会研究発表会予稿集, ,  25- 25, 1990年12月 

RF-DC結合マグネトロンスパッタ法によるMo薄膜の作製, , 電子情報通信学会, 1990年10月, 電子情報通信学会, ,  25- 25, 1990年10月 

SnO２薄膜の表面弗素化, , 平成２年度電気関係学会中国支部連合大会, 1990年10月, 平成２年度電気関係学会中国支部連合大会予稿集, ,  25- 25, 1990年10月 

エキシマレ－ザ誘起CryogenicＣＶＤによる結晶性Si薄膜の成長 －CO２レーザ照射効果ー, , 応用物理学会講演会, 1990年09月, 応用物理学会講演会予稿集, 51( 2), 480- 480, 1990年09月 

RF-DC結合スパッタ法によるＷ薄膜の作製, , 応用物理学会講演会, 1990年09月, 応用物理学会講演会予稿集, 51( 2), 665- 665, 1990年09月 

Emerging Technologies for ULSI, , the 177th Meeting Electrochemical Society, 1990年05月11日, Proc. of the 177th Meeting Electrochemical Society, ,  25- 25, 1990年05月11日 

レ－ザ誘起Cryogenic ＣＶＤによるSiの単原子層成長, , 応用物理学会講演会, 1989年09月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1989-9- 1989-9, 1989年09月 

Siのレ－ザ誘起 Cryogenic-ＣＶＤ －初期過程－, , 応用物理学会講演会, 1989年04月01日, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1a-ZF-2- 1a-ZF-2, 1989年04月01日 

Degital CVD and Etching Technologies for Semiconductor Processing, , 36th AVS Annual Symposium, 1989年, 36th AVS Annual Symposium, ,  25- 30, 1989年10月23日 

Early Stages of Flurorine Enhanced Oxidation of Silicon, , 6th Intern. Symp. on Passivity, 1989年, , ,  25- 25, 1989年 

ATOMIC LAYER GROWTH OF SILICON BY EXCIMER LASER INDUCED CRYOGENIC CVD, , the 21th Conference on Solid State Devices and Materials, 1989年, Extended Abstracts of the 21th Conference on Solid State Devices and Materials, ,  53- 53, 1989年 

ATOMIC LAYER GROWTH MECHANISM OF SILICON BY EXCIMER LASER INDUCED CRYOGENIC CVD, , 1989 Dry Process Symposium, 1989年, Proc. of 1989 Dry Process Symposium, ,  103- 103, 1989年 

Fluorine-Enhanced Thermal Oxide / Si Interface, , 1988 Dry Process Symposium, 1988年11月, Proc. of 1988 Dry Process Symposium, ,  129- 134, 1988年11月 

弗素増速熱酸化膜のホットエレクトロントラップ, , 応用物理学会講演会, 1988年10月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1988-10-1- 1988-10-1, 1988年10月 

Siのレ－ザ誘起Cryogenic-ＣＶＤ －膜質評価－, , 応用物理学会講演会, 1988年10月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1988-10-2- 1988-10-2, 1988年10月 

Selective Growth of Polycrystalline Silicon by Laser-Induced Cryogenic CVD, , the 20th (1988 International) Conference on Solid State Devices and Materials, 1988年08月24日, Extended Abstracts of the 20th (1988 International) Conference on Solid State Devices and Materials, ,  61- 64, 1988年08月24日 

弗素増速熱酸化膜の酸化誘起欠陥, , 応用物理学会講演会, 1988年03月30日, 応用物理学会講演会予稿集, ,  30p-N-3- 30p-N-3, 1988年03月30日 

多結晶Siのレ－ザ誘起Cryo- ＣＶＤ －パタ－ン転写－, , 応用物理学会講演会, 1988年03月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1988-3- 1988-3, 1988年03月 

２波長レ－ザＣＶＤによるSiO２膜の形成, , 応用物理学会講演会, 1988年03月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1988-3- 1988-3, 1988年03月 

SiO２膜のエキシマレ－ザＣＶＤ, , 応用物理学会講演会, 1987年10月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1987-10- 1987-10, 1987年10月 

冷却基板上への多結晶Siの選択レ－ザＣＶＤ, , 応用物理学会講演会, 1987年10月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1987-10- 1987-10, 1987年10月 

シリコンのフッ素増速酸化と酸素アニ－ル効果, , 応用物理学会講演会, 1987年03月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1987-3- 1987-3, 1987年03月 

Study on Demagnified Reflection-Type X-Ray Lithography, , the Riken Symposium on Ion Implantation and Submicron Fabrication, 1987年03月,  Proc. of the Riken Symposium on Ion Implantation and Submicron Fabrication, ,  185- 188, 1987年03月 

Stoichiometry Control in Laser CVD SiO２, , Electrochemical Society, 1987年03月, Proc. of the 172nd Meeting Electrochemical Society , ,  247- 254, 1987年03月 

SiO２膜のエキシマレ－ザＣＶＤ, , 応用物理学会講演会, 1987年03月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  29p-C-9- 29p-C-9, 1987年03月 

ArF エキシマレ－ザを用いたSiの選択 ＣＶＤ, , 応用物理学会講演会, 1986年09月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1986-9- 1986-9, 1986年09月 

SiO２の選択ＣＶＤ, , 応用物理学会講演会, 1986年04月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1986- 1986, 1986年04月 

Alのレ－ザ誘起光化学エッチング, , 応用物理学会講演会, 1985年10月, , ,  1985- 1985, 1985年10月 

弗素増速熱酸化膜の窒素アニ－ル効果, , 応用物理学会講演会, 1985年10月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1985- 1985, 1985年10月 

A New X-Ray Lithographic Technique Using No Thin Film Pattern Masks, , the 1985 Materials Research Society Spring Meeting, 1985年04月, Abstracts of the 1985 Materials Research Society Spring Meeting, ,  204- 204, 1985年04月 

A New X-Ray Lithographic Technique Based On Pattern Printing By X-Rays Reflected From A Pattern Plate, , the Riken Symposium on Ion Implantation and Submicron Fabrication, 1985年03月, Proc. of the Riken Symposium on Ion Implantation and Submicron Fabrication, ,  197- 197, 1985年03月 

収束系を用いたＸ線反射露光法によるパターンの転写, , 応用物理学会講演会, 1984年10月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1984- 1984, 1984年10月 

薄膜マスクを用いないパターン縮小可能なＸ線露光法の提案, , 応用物理学会講演会, 1984年04月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1984- 1984, 1984年04月 

Demagnified Projection Printing By A New X- Ray Lithographic Technology, , Riken Symposium on Ion Implantation and Submicron Fabrication, 1984年03月, Proc. of the Riken Symposium on Ion Implantation and Submicron Fabrication, ,  145- 150,   

Demagnified Projection Printing By A New X- Ray Lithographic System Using No Thin Film, , the 16th (1984 International) Conference on Solid State Devices and Materials, 1984年, Extended Abstracts of the 16th (1984 International) Conference on Solid State Devices and Materials, ,  62- 62, 1984年 

半絶縁性GaAsのDeep Levelフォトルミネッセンス及び光吸収, , 応用物理学会講演会, 1982年04月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  2p-Q-12- 2p-Q-12, 1982年04月