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田中 武 (タナカ タケシ,TANAKA Takeshi)

基本情報 研究分野 研究業績

 

著書
No.著書名(タイトル) URL, 担当区分, 出版社, 出版年月(日), 担当範囲, ISBN 
1
Practical Aspects and Applications of Electron Beam Irradiation , 共著, publ. Research Signpost/Transworld Research Network, 2011年01月, Photoelectron signal simulation at surface analysis”, Chapter in a special review book, 978-81-7895-532-2 
2
最先端照明光源技術全集 , 分担執筆, 技術情報協会, 2008年02月29日, 第9節 白色LEDを用いた内照式標識・看板, 978-4861042126 
3
プラズマイオンプロセスとその応用 , 分担執筆, オーム社, 2005年10月01日, 8-6節、8-8節, 978-4274201233 
4
LED最新技術動向-性能向上と課題解決集- , 分担執筆, 情報機構, 2005年03月31日, LED低消費電力化の工夫, 978-4901677356 
5
表面科学の基礎と応用 , 分担執筆, NTS Inc., 1991年08月01日, CVD法,  

 

作品等
No.作品名, 機関名(誌名), 発表年月 
1
編集後記, 日本表面真空学会学会誌, 2021年01月10日 

 

報告書等
No.報告書等名(MISCタイトル) URL, 誌名, 巻( 号), 開始ページ- 終了ページ, 出版年月(日) 
1
オゾンセンサーを内蔵するIoTの作成とその応用 , オゾンニュース・イン・ジャパン, ( 117), 3- 6, 2021年04月20日 
2
Review of HIT - IE-BAS joint research during the last 25 years , 広島工業大学紀要.研究編, 55,  95- 100, 2021年02月01日 
3
オゾンセンサーを内蔵するIoTの作成とその応用 , 広島工業大学紀要. 研究編, 55,  31- 39, 2021年02月01日 
4
IoTを用いた高大連携による初歩的な環境計測 , 広島工業大学紀要. 教育編, 20,  7- 16, 2021年02月01日 
5
水素を用いた燃料電池に関する初歩的な教育システムの構築 , 広島工業大学紀要.教育編, 19,  53- 60, 2020年02月01日 
6
Sigfox を用いたIoT 機器の製作と、ThingSpeak, Matlab/Simulink,及びTwitter を用いた教育、研究、及び社会への応用 , 広島工業大学紀要.研究編, 54,  113- 122, 2020年02月01日 
7
DV-Xα分子軌道法によるXPSスペクトルの理論と実験的評価およびマテリアルズ・インフォマティクスの応用 , 広島工業大学紀要.研究編, 53,  79- 88, 2019年02月01日 
8
一般財団法人スポーツ環境総合技術推進協議会の2018年活動報告 , 広島工業大学紀要.研究編, 53,  269- 276, 2019年02月01日 
9
初歩的な自立式再生エネルギーシステムの構築 , 広島工業大学紀要. 研究編, 52,  77- 85, 2018年02月01日 
10
ドローンを用いたスポーツ施設の照明の測定 , 広島工業大学紀要.研究編, 52,  87- 92, 2018年02月01日 
11
一般財団法人スポーツ環境総合技術推進協議会の概要と活動報告 , 広島工業大学紀要.研究編, 52,  187- 194, 2018年02月01日 
12
Sigfoxネットワークを用いたIoT機器との 通信システムの構築と教育への応用 , 広島工業大学紀要.教育編, 17,  59- 63, 2018年02月01日 
13
LED を用いたアリーナのスポーツ照明と,その設置例 , 広島工業大学紀要.研究編, 51,  231- 241, 2017年02月01日 
14
飯南町の理科クラブの現状と将来 , 広島工業大学紀要. 教育編, 14,  39- 46, 2015年02月01日 
15
中山間地域における応用物理の教育・啓発とそれを通じた地域の活性化 , 広島工業大学紀要. 教育編, 13,  23- 31, 2014年02月01日 
16
The report of joint research over 20 years of the Bulgarian Academy of Sciences and Hiroshima Institute of Technology , 広島工業大学紀要.研究編, 48,  105- 114, 2014年02月01日 
17
LED 照明における東アジアの国際標準化の現状 , 広島工業大学紀要.研究編, 47,  1- 9, 2013年02月01日 
18
島根県飯石郡飯南町における「スクールニューディール構想」と「緑の分権改革」 , 広島工業大学紀要.研究編, 45,  1- 8, 2011年02月01日 
19
小規模集積回路(SSI)を用いた設計・プロセス・評価の一貫教育システムの構築 , 広島工業大学紀要.研究編, 44,  1- 5, 2010年02月01日 
20
システムLSI関連ものづくり教育におけるICチップ作成 , 広島工業大学紀要. 教育編, 4,  7- 12, 2005年02月01日 
21
システムLSI関連ものづくり教育の高大連携へのアプローチ , 広島工業大学紀要.教育編, 4,  1- 6, 2005年02月01日 
22
太陽電池式白色LED内照型道路標識用集積回路の開発 , 広島工業大学紀要.研究編, 37,  1- 4, 2003年02月01日 
23
プラズマ材料プロセス/希薄気体統合シミュレーションツール(PEGASUS)の電磁気学への応用 , 広島工業大学紀要. 教育編, 2,  5- 8, 2003年02月01日 
24
カードリーダを用いた大学講義出席システムの開発 , 広島工業大学紀要. 教育編, 2,  1- 3, 2003年02月01日 
25
LSI設計教育のためのC++テンプレートライブラリの開発 , 広島工業大学紀要.教育編, 1,  15- 20, 2002年02月01日 
26
太陽電池式白色LED内照型道路標識の開発 , 広島工業大学紀要.研究編, 36,  9- 12, 2002年02月01日 
27
高周波-直流結合形マグネトロンスパッタリング法によるエレクトロクロミック用SnNx薄膜の形成 , 光材料、研究者データベース, ,  81- 82, 1999年03月 

 

学術論文
No.論文タイトル(題目) URL, 誌名(出版物名), 巻( 号), 開始ページ- 終了ページ, 出版年月(日), DOI 
1
Development of an IoT device using SigFox, ThingSpeak, and MATLAB/Simulink , ELECTROTECHNICA & ELECTRONICA, 55( 3-4), 35- 40, 2020年10月01日,  
2
Transmission of environment data with preliminary secret sharing processing using Sigfox , ELECTROTECHNICA & ELECTRONICA, 55( 9-12), 99- 104, 2020年09月,  
3
IoT device with Global Positioning System using SigFox, ThingSpeak, and Anaconda platform , ELECTROTECHNICA & ELECTRONICA, 55( 5-8), 94- 98, 2020年08月31日,  
4
IoT device with Global Positioning System using SigFox, ThingSpeak, and Anaconda platform , ELECTROTECHNICA & ELECTRONICA, 55( 5-8), 94- 98, 2020年06月16日,  
5
新規食品殺菌装置の開発を目的としたプラズマベースイオン注入(PBII)法のフラットサワー菌に対する殺菌効果 , アグリバイオ, ,  406- 410, 2020年05月20日,  
6
早期に研究に着手した学生のその後と他への波及効果 , 電気学会論文誌A, 139( 11), 469- 477, 2019年11月, https://doi.org/10.1541/ieejfms.139.469 
7
Effect of Electron Beam Method on Processing of Titanium Technogenic Material , Metals, 9( 6), 683- 691, 2019年06月14日, https://doi.org/10.3390/met9060683 
8
First work on collaboration between high schools and university by holding workshops, Industry 4.0 , Industry 4.0, 4( 2), 92- 95, 2019年04月,  
9
プラズマベースイオン注入法の食品殺菌への応用について , アグリバイオ, 2( 5), 486- 490, 2018年05月20日,  
10
Construction of a preliminary educational system for file backup system using secret sharing technique , ELECTROTECHNICA & ELECTRONICA, 53( 11-12), 321- 326, 2018年03月21日,  
11
Investigation of Tantalum Recycling by Electron Beam Melting , Metals, 6( 287), 1- 13, 2016年11月21日, https://doi.org/10.3390/met6110287 
12
4もしくは8個の梯子状に結合したvan der Pol発振器をインダクタで十字に結合した系における位相反転波動の解析 , 電子情報通信学会技術研究報告, 115( 150), 37- 42, 2015年07月14日,  
13
環状に9もしくは10個のvan der Pol発振器をインダクタによって結合した系にみられる波動現象の解析 , 電子情報通信学会技術研究報告, 115( 150), 31- 36, 2015年07月14日,  
14
IC Design Program for Visual and Intuitive Manufacturing Study in High School Education , Proc. of International conference on Innovative Engineering Technologies (ICIET’2014), ,  42- 47, 2014年12月28日, http://dx.doi.org/10.15242/IIE.E1214049 
15
Construction of an elementary education system on semiconductor processes for power devices using TCAD , 2014 IEEE Conference on Energy Conversion (CENCON), ,  43- 48, 2014年12月, 10.1109/CENCON.2014.6967474 
16
プラズマベースイオン注入(PBII)法を用いた自己点弧プラズマの生成=窒素ガスとアルゴンガスによる自己点弧プラズマの点灯のタイミング= , 光アライアンス, 25( 11), 40- 43, 2014年11月01日,  
17
プラズマベースイオン注入(PBII)法を用いたプラズマの密度算定=窒素ガスによる自己点孤プラズマへの応用= , 光アライアンス, 25( 9), 53- 57, 2014年09月01日,  
18
プラズマベースイオン注入(PBII)法を用いた窒素ガスとアルゴンガスの自己点弧プラズマの点灯のタイミング , 真空, 57( 5), 193- 196, 2014年05月, https://doi.org/10.3131/jvsj2.57.193 
19
プラズマベースイオン注入(PBII)法を用いた窒素ガスによる自己点弧プラズマの密度算定 , 真空, 57( 5), 189- 192, 2014年05月,  https://doi.org/10.3131/jvsj2.57.189 
20
プラズマベースイオン注入法を用いたRFバーストプラズマによる放電特性 , 静電気学会講演論文集, 2014,  35- 36, 2014年,  
21
Power electronics education using the integrated circuit consistent education system and TCAD , 2013 IEEE Frontiers in Education Conference (FIE), ,  1456- 1458, 2013年12月, 10.1109/FIE.2013.6685074 
22
プラズマベースイオン注入法(PBII)を用いたオゾンプラズマの生成と滅菌への応用 , 医療機器学, 83( 2), 226- 226, 2013年04月01日,  
23
H23年度緑の分権改革推進事業計画(現状)と理科クラブを通した人材育成―学校教育の側面からー , 応用物理教育, 36( 1), 33- 38, 2012年06月,  
24
電気エネルギーの充電、貯蔵、利用の教育システムの構築 , 応用物理教育, 36( 1), 63- 68, 2012年05月,  
25
Disinfection and sterilization by using plasma-based ion implantation , ELECTROTECHNICA & ELECTRONICA, 48( 5-6), 268- 272, 2012年05月,  
26
Positive-plasma-bias method for plasma-based ion implantation and deposition , Surface and Coatings Technology, 204( 18-19), 2881- 2891, 2010年06月25日, https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2010.03.004 
27
Computer simulation of resist profiles at electron beam nanolithography , Microelectronics Engineering, 87( 5-8), 1108- 1111, 2010年05月,  
28
A simulation model for Chemically Amplified Resist CAMP6 , Microelectronic Engineering, 86( 4-6), 714- 717, 2009年04月,  
29
2輪倒立の物理モデルから電子制御実演までの教育システムの構築 , 応用物理教育, 32( 2), 63- 68, 2008年12月,  
30
Electron and ion beam lithography simulation for sub-quarter-micron patterns , Journal of Nanotechnology and its Applications, 2( 1), 32- 47, 2007年,  
31
Estimation of nitrogen ion energy calculated using distribution for nitrogen in Si implanted by PBII , Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, B242,  371- 373, 2006年01月,  
32
プラズマイオン注入滅菌法における窒素イオンエネルギーの推定 , 真空, 48( 5), 339- 342, 2005年05月, https://doi.org/10.3131/jvsj.48.339 
33
Plasma-based ion implantation sterilization technique and ion energy estimation , J. Vac. Sci. Technol., A23( 4), 1018- 1021, 2005年04月,  
34
Simulation of the energy absorption and the resist development at sub-150 nm ion lithography , Microelectronic Engineering, 78-79,  533- 539, 2005年03月,  
35
Estimation of plasma density in after-glow region of RF burst plasma based on voltage–current characteristics , Surface & Coatings Technology, 186( 1-2), 53- 56, 2004年08月02日,  
36
Generation of self-ignition plasma and extracted ion current in a burst RF inductively coupled plasma of carbon-containing gases , Surface & Coatings Technology, 186( 1-2), 187- 189, 2004年08月02日,  
37
Surface modification of PET films by plasma source ion implantation , Polymer Surface Modification: Relevance to Adhesion, 3,  69- 82, 2004年03月,  
38
プラズマイオン注入法を用いてポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に成膜したカーボン薄膜の特性 , 真空, 47( 3), 220- 223, 2004年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.47.220 
39
棒状Si電極とPt点電極を組み合わせた姿勢センサの研究 , 計測自動制御学会論文集, 39( 12), 1085- 1092, 2003年12月,  
40
X-ray photoelectron spectroscopy and magnetic properties in Fe-SiO2 granular films , J. Applied Physics, 94( 7 ), 4279- 4284, 2003年10月,  
41
特集プラズマ応用の新しい展開 2 PETボトルにビールを詰める , 電気学会誌, 123( 10), 645- 647, 2003年10月,  
42
Improvement of oxygen barrier of PET film with diamond-like carbon film by plasma-source ion implantation , Surface & Coatings Technology, 174-175( 9-10), 1033- 1037, 2003年09月,  
43
Experimental study on a new sterilization process using plasma source ion implantation with N2 gas , J. Vac. Sci. Technol., A21( 4), 1230- 1236, 2003年07月,  
44
Auger electron spectroscopy of high-speed-deformed Ni/Cu layers , Materials Science and Engineering, A350,  155- 159, 2003年06月15日,  
45
Ion current extracted from a self ignition plasma around the target immersed in a pulsed rf ICP methane plasma , Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, B206,  817- 819, 2003年05月,  
46
Investigation of diamond-like carbon formed on PET film by plasma-source ion implantation using C2H2 and CH4 , Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, B206,  712- 716, 2003年05月,  
47
Control of properties of thin films prepared by rf- dc coupled magnetron sputtering , Recent Res. Devel. Vacuum Sci. & Tech, 4,  191- 212, 2003年04月,  
48
多重磁極形高周波マグネトロンスパッタ法によるFe薄膜のスパッタガス圧力依存性 , 真空, 46( 3), 241- 244, 2003年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.46.241 
49
不活性ガスを用いたプラズマソースイオン注入(PSII)法による滅菌プロセス , 真空, 46( 3), 333- 336, 2003年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.46.333 
50
基本的な集積回路設計および半導体プロセス工学教育システムの構築 , 応用物理教育, 26( 2), 7- 12, 2002年12月,  
51
棒状Si電極による弱電解液液位計測法の基礎的研究 , 計測自動制御学会論文集, 38( 10), 815- 820, 2002年10月,  
52
Photoelectron Signal Simulation from Textured Samples with Modified Surface Composition , Surface and Interface Analysis, 34,  597- 600, 2002年09月18日,  
53
Improvement of oxygen barrier of PET film by plasma-source ion implantation of carbon , J. Vac. Sci. Technol., A20( 5), 1659- 1662, 2002年09月,  
54
Diamondlike carbon deposition on plastic films by plasma source ion implantation , J. Vac. Sci. Technol., A20( 3), 625- 633, 2002年05月,  
55
Surface analysis of impact compressed Cu-Ni multiplayer , J. of Surface Analysis, 9,  404- 407, 2002年03月,  
56
Amorphous carbon layer deposition on plastic film by PSII , Thin Solid Films, 420-421,  253- 258, 2001年12月02日,  
57
High rate Sputtering for Ni Films by rf-dc coupled magnetron Sputtering system with Multiploar Magnetic Plasma Confinement , J. Vac. Sci. Technol., A19( 4), 1438- 1441, 2001年07月, 10.1116/1.1351796 
58
Microstructure and electrical properties of CoNx thin films deposited by unbalanced magnetron sputtering , Vacuum, 62,  293- 296, 2001年06月15日,  
59
最近のスパッタリングとイオンプレーティング技術 高周波‐直流結合形マグネトロンスパッタリングによる薄膜物性制御 , 真空, 44( 4), 428- 434, 2001年04月20日, https://doi.org/10.3131/jvsj.44.428 
60
Effect of d.c. bias on the compositional ratio of WNx thin films prepared by r.f. – d.c. coupled magnetron sputtering , Applied Surface Science, 169-170,  362- 365, 2001年01月15日,  
61
Rapid Thermal annealing of CoxN , Materials and Manufacturing Processes, 16,  531- 540, 2001年,  
62
Effect of d.c. bias on the deposition rate using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering for SnNx thin films , Vacuum, 59,  764- 770, 2000年11月,  
63
Effect of d.c. bias voltage on the deposition rate for Ni films by r.f. – d.c. coupled unbalanced-magnetron sputtering , Surface & coating Technology, 133-134,  295- 300, 2000年11月,  
64
Photoelectron signal simulation from textured overlayer samples , Surface and Interface Analysis, 62( 2‐3), 552- 556, 2000年09月05日, 10.1016/S0042-207X(01)00155-5 
65
Preparation of Co and CoNx thin films by unbalanced r.f. magnetron sputtering , J. Vac. Sci. Technol., A18( 4), 1649- 1652, 2000年07月,  
66
高周波マグネトロンスパッタ法によるNi薄膜の堆積速度 , 真空, 43( 3), 311- 313, 2000年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.43.311 
67
高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるNiターゲットを用いた放電特性とNi薄膜の堆積速度のDC制御効果 , 真空, 43( 3), 307- 310, 2000年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.43.307 
68
高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるWNx薄膜の作製とCu/WNx/Si構造の拡散バリア効果 , 真空, 43( 3), 303- 306, 2000年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.43.303 
69
SiO2/Si多層構造のX線光電子分光法による評価 , J. of Surface Analysis, 7,  116- 121, 2000年02月,  
70
Photoelectron signal simulation from textured overlayer samples , Surface and Interface Analysis, 30,  552- 556, 2000年,  
71
Characterization for SiO2/Si and silicide/Si interface by x-ray photoelectron spectroscopy with the difference method , Journal of the Korean Vacuum Society, 9,  115- 120, 2000年,  
72
Evaluation of thin film surface topology shapes , Mathematics and Computers in Simulation, 49( 4-5), 275- 283, 1999年09月,  
73
Study on TiNx films and Ti target surface nitrided by rf dc coupled reactive magnetron sputtering , J. Vac. Sci. Technol., A16( 5), 3142- 3144, 1999年09月,  
74
Preparation of argon-free refractory thin films using RF-DC coupled magnetron sputtering , Vacuum, 53,  37- 39, 1999年05月,  
75
Preparation of MgxNi thin films by RF - DC coupled magnetron sputtering , Thin Solid Films, 343-344,  21- 23, 1999年04月,  
76
Effect of d.c. bias on the growth rate using RF - DC coupled magnetron sputtering for Mg thin films , Thin Solid Films, 343-344,  57- 59, 1999年04月,  
77
高周波一直流結合形マグネトロンスパッタ法によるSnNx薄膜の作製 , 真空, 42( 3), 269- 271, 1999年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.42.269 
78
X-ray Photoelectron Profilography , Journal of Surface Analysis, 5( 1), 82- 85, 1999年01月,  
79
Preparation of TiNx thin films using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering in Ar - N2 gas plasma , Thin Solid Films, 317,  93- 95, 1998年04月01日,  
80
高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるTiNx/Si構造の電気的特性 , 真空, 41( 3), 285- 288, 1998年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.41.285 
81
Ar-N2混合ガスを用いた高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法による窒化マグネシウム薄膜の作製 , 真空, 41( 3), 289- 291, 1998年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.41.289 
82
Preparation of Ta/Mo structure by using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering , Thin Solid Films, 312( 1-2), 135- 138, 1998年01月,  
83
Monte Carlo simulation of argon atoms transport during deposition of W thin films by RF – dc coupled magnetron sputtering , Vacuum, 48( 7-9), 669- 670, 1997年09月,  
84
Auスパッタリングを用いたX線光電子分光法における導電膜/絶縁基板の測定改善 , 真空, 40( 5), 464- 466, 1997年05月15日, https://doi.org/10.3131/jvsj.40.464 
85
高周波一直流結合形マグネトロンスパッタ法を用いたAr-N2中のTiターゲット表面組成 , 真空, 40( 3), 231- 233, 1997年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.40.231 
86
Transparent, conductive CuI films prepared by rf-dc coupled magnetron sputtering , Thin Solid Films, 281-282,  179- 181, 1996年08月,  
87
Growth kinetics of refractory metal thin films sputtered by r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering in Ar or Ne gas plasma , Vacuum, 46( 8-10), 1059- 1062, 1995年08月,  
88
光導電素子を用いた液晶空間光変調素子の設計 , 電子情報通信学会論文誌CI, J78-C-I( 6), 317- 319, 1995年06月,  
89
水素プラズマ曝露によるSnO2薄膜の環元 , 真空, 38( 3), 322- 325, 1995年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.38.322 
90
高周波アシスト直流マグネトロンスパッタ法による放電特性とTa薄膜の推積速度(共著) , 真空, 38( 3), 315- 317, 1995年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.38.315 
91
RF-DC結合形マグネットロンスパッタ法によるDC制御効果 , 電子情報通信学会論文誌, J77-C-II( 5), 229- 231, 1994年05月,  
92
弗素化したSnO2薄膜の表面構造 , 真空, 37( 3), 252- 254, 1994年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.37.252 
93
高周波一直流結合形マグネトロンスパッタ法によるTa/Mo薄膜の形成 , 真空, 37( 3), 255- 257, 1994年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.37.255 
94
Hydrogen Plasma Durability of Chemically Treated SnO2 Thin Films , Jpn. J. Appl. Phys, 32,  L1454- L1457, 1993年10月01日,  
95
Preparation of W and Mo thin films by rf-dc coupled magnetron sputtering , Materials Science and Engineering, A163( 2), 163- 165, 1993年04月15日,  
96
水蒸気を用いたSnO2 薄膜の表面改質(共著) , 真空, 36( 3), 278- 281, 1993年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.36.278 
97
真空蒸着法による透明導電膜ヨウ化銅の作成 , 真空, 36( 3), 282- 284, 1993年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.36.282 
98
弗素化したTexfured SnO2 薄膜の水素プラズマ耐性 , 真空, 36( 3), 275- 277, 1993年03月, Ihttps://doi.org/10.3131/jvsj.36.275 
99
透明導電膜の弗素化メカニズム , 真空, 35( 3), 368- 370, 1992年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.35.368 
100
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるW薄膜の作製 , 真空, 35( 3), 377- 380, 1992年03月, https://doi.org/10.3131/jvsj.35.377 
101
Early Stages of Fluorine Enhanced Oxidation of Silicon , Solid State Electronics, 33,  117- 122, 1990年12月,  
102
Atomic layer growth of silicon by excimer laser induced cryogenic chemical vapor deposition , Appl. Phys. Lett., 56( 15), 1445- 1447, 1990年04月09日, https://doi.org/10.1063/1.102493 
103
レーザ誘起プロセスによる薄膜形成に関する基礎研究 , 学位論文, ,  1- 87, 1990年03月01日,  
104
Degital chemical vapor deposition and etching technologies for semiconductor processing , J. Vac. Sci. Technol., A8( 3), 1844- 1850, 1990年03月,  
105
Selective Growth of Polycrystalline Silicon By Laser Induced Cryogenic CVD , Jpn. J. Appl. Phys. Lett., 27( 11), L2149- L2151, 1988年11月01日,  
106
Initial Stage of Laser-Induced Selective Chemical Vapor Deposition of Silicon , Jpn. J. Appl. Phys., 26( 12), 2057- 2060, 1987年12月, https://doi.org/10.1143/JJAP.26.2057 
107
Low-temperature nitridation of fluorinated silicon dioxide in ammonia gas , Appl. Phys. Lett., 51( 13), 981- 983, 1987年09月,  
108
A New X-ray Lithographic Technique Using total Reflection of X-rays from a pattern plate , Japanese Journal of Applied Physics, 26( 3), 487- 491, 1987年03月,  
109
Si薄膜の選択レ-ザCVDの初期過程 , レ-ザ-学会研究会報告, RTM-86( 38), 7- 11, 1987年02月20日,  
110
弗素増速反応によるシリコンの低温酸化 , 応用物理, 56( 1), 70- 75, 1987年01月, https://doi.org/10.11470/oubutsu1932.56.70 
111
Fluorine-enhanced photooxidation of silicon under ArF excimer laser irradiation in an O2+ NF3 gas mixture , Appl. Phys. Lett., 49( 12), 699- 700, 1986年09月,  
112
Demagnified projection printing by a new x-ray lithographic technique using no thin-film masks , Applied Physics Letters, 45( 1), 3- 5, 1984年07月01日, 10.1063/1.94997 
113
X線反射を用いる新しいパターン縮小転写法の開発とSOR光利用の有効性 , 第2回(1984)フォトン・ファクトリー・シンポジウムー放射光実験施設成果発表予稿集, ,  2- 2, 1984年,  

 

口頭発表
No.講演・口頭発表タイトル, URL, 発表機関, 発表年月日, 誌名, 巻( 号), 開始ページ- 終了ページ, 出版年月(日) 
1
Utilization of Both Free 3DCG Software “Blender” and 3D Printing for Early STEM Education, , IEEE, 2020年12月08日, Proceedings of IEEE TALE2020 (An International Conference on Engineering, Technology and Education), ,  971- 974, 2020年12月08日 
2
A STEM Education Method Utilizing 3DCG Software “Blender", , The Society of Digital Information and Wireless Communications (SDIWC), 2020年12月, Proceedings of the Sixth International Conference on Electronics and Software Science (ICESS2020), ,  38- 43, 2020年12月 
3
Construction of a Preliminary Educational System for Fuel Cell Using Hydrogen, , IEEE, 2020年03月, , ,  126- 129,   
4
Electron Beam Processing of Materials. IE BAS - HIT joint research during the last 25 years, , 3rd Education and Research International Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2019年05月18日, Proceedings of the 3rd Education and Research International Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  kh-1- kh-2, 2019年05月18日 
5
DV‐Xα分子軌道法によるXPSスペクトルの理論と実験の教育システムの構築, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2019年03月02日, 電気学会研究会資料, ( FIE-19-001-014), 61- 66, 2019年03月02日 
6
初歩的な半導体プロセス教育へのTCADの応用, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2018年12月08日, 電気学会研究会資料, ( FIE-18-025-029), 23- 26, 2018年12月08日 
7
Basic Consecutive System Considered Design, Process, Estimation, and Control Application of a Fundamental Integrated Circuit Education System and Its Application, , 2nd Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年12月08日, Proceedings of the 2nd Education and Research International Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  f-ek-1- f-ek-2, 2018年12月08日 
8
秘密分散技術を用いたデータ送信時の安全, , 第八回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2018年12月08日, 第八回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  h-jp-15- h-jp-15, 2018年12月08日 
9
Preliminary Application of IoT Equipment with GPS System Using Sigfox Network, , 2nd Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年12月07日, Proceedings of the 2nd Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  k-ek-1- k-ek-2, 2018年12月07日 
10
発光・受光素子に基づく制御素子機能の考察, , 電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD-ROM), 2018年09月05日, 電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD-ROM) , 2018,  ROMBUNNO.GS8-2- ROMBUNNO.GS8-2, 2018年09月05日 
11
Construction of a preliminary file backup system for surface analysis date using secret sharing technique, , Thirteenth International Conference on Electron Beam Technologies(EBT2018), 2018年06月18日,  Thirteenth International Conference on Electron Beam Technologies(EBT2018), ,  160- 164, 2018年06月18日 
12
Construction pf a preliminary file backup system for surface analysis data using secret sharing technique, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  ek-5- ek-6, 2018年05月06日 
13
Main results obtained under HIT-BAS joint research for the last 5 years, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  K-1- K-1, 2018年05月06日 
14
A study of system construction for elementary instruction of virtual reality for beginners by students in electrical and electronic engineering, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  eh-4- eh-4, 2018年05月06日 
15
Control of plasma parameters by Penning ion effect, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  ek-3- ek-4, 2018年05月06日 
16
Applied voltage dependence of plasma characteristic for food sterilization using PBII method, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  ek-7- ek-8, 2018年05月06日 
17
Preliminary simulation of Magnetron sputtering using Pegasus software, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  ek-9- ek-10, 2018年05月06日 
18
Contact characteristic for Iridium-coated Probe, , 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2018年05月06日, Proceedings of the 1st Education and Research International Workshop of electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  ek-11- ek-12, 2018年05月06日 
19
POSSIBLE SOLUTION FOR THE RECYCLING OF METAL WASTES THROUGH ELECTRON BEAM MELTING, , HIGH TECHNOLOGIES BUSINESS SOCIETY, 2018年03月12日, High Technologies, 1( 3), 84- 87, 2018年03月12日 
20
プラズマベースイオン注入法を用いたBacillus stearothermophilusの殺菌におけるパルス幅の最適化, , 日本農芸化学会大会, 2018年03月05日, 日本農芸化学会大会講演要旨集(Web) , 2018,  ROMBUNNO.2B03a04- ROMBUNNO.2B03a04, 2018年03月05日 
21
秘密分散技術を用いたファイルバックアップシステムの初歩的な教育システムの構築, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2018年03月02日, 電気学会研究会資料, ( FIE-18-001-015), 41- 45, 2018年03月02日 
22
2人用じゃんけん回路の設計と評価, , 電気学会電子回路研究会, 2018年01月18日, 電気学会研究会資料, ( ECT-18-001-009), 11- 16, 2018年01月18日 
23
プラズマベースイオン注入法を用いた酸素ガスの放電特性, , 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年11月25日, 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-3- 2-3, 2017年11月25日 
24
ドローンを用いたスポーツ施設の照明の測定, , 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年11月25日, 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-14- 2-14, 2017年11月25日 
25
Sigfox ネットワークを用いたIoT 機器の運用, , 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年11月25日, 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-10- 2-10, 2017年11月25日 
26
初歩的な自立式再生エネルギーシステムの構築, , 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年11月25日, 第 6 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-7- 2-7, 2017年11月25日 
27
クリーンルーム整備から,集積回路の一貫教育構築まで, , 電気学会電子・情報・システム部門大会, 2017年09月06日, 電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD-ROM) , 2017,  ROMBUNNO.TC22-4- ROMBUNNO.TC22-4, 2017年09月06日 
28
初歩的な自立式再生エネルギーシステムの構築, , 第 5回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年05月27日, 第 5回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-9- 2-9, 2017年05月27日 
29
リラックス状態と心拍数の初歩的な研究, , 第 5回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年05月27日, 第 5回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-21- 2-21, 2017年05月27日 
30
食品の殺菌に最適なプラズマ生成法と最適条件, , 第 5回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2017年05月27日, 第 5回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  2-13- 2-13, 2017年05月27日 
31
プラズマベースイオン注入法の理解のためのシミュレーションソフト(PEGASUS)の初歩的な応用, , 公益社団法人応用物理学会, 2017年03月01日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) , 64,  16a-P1-35- 16a-P1-35, 2017年03月01日 
32
8bit CPUの機能ブロック別設計・試作品報告, , 電気学会電子回路研究会, 2017年01月19日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-17( 1-21), 21- 26, 2017年01月19日 
33
8bit CPUの機能別ブロック別設計・試作報告, , 電気学会電子回路研究会, 2017年01月19日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-17,  21- 26, 2017年01月19日 
34
Refining effect of electron beam melting on recycling of nickel wastes, , The 40th International Spring Seminar on Electronics Technology, IEEE 2017, 2017年,  Proceedings of the 40th International Spring Seminar on Electronics Technology, IEEE 2017, ,  1- 6, 2017年 
35
Research and education systems in Bulgaria and Japan – comparison of the main features and some new approaches, , 4th Education and Research Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2016年11月26日, Proceedings of the 4th Education and Research Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  1-8- 1-9, 2016年11月26日 
36
Si結晶の計測方法とその電子状態の計算, , 第 3 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2016年05月28日, 第 3 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  22- 22, 2016年05月28日 
37
TCADを用いた初歩的なデバイス回路の設計と評価, , エレクトロニクス実装学会講演大会, 2016年03月22日, エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM), ,  ROMBUNNO.22P1-1- ROMBUNNO.22P1-1, 2016年03月22日 
38
イリジウム被膜型プローブの開発, , エレクトロニクス実装学会講演大会, 2016年03月22日, エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM), ,  ROMBUNNO.22P1-15- ROMBUNNO.22P1-15, 2016年03月22日 
39
TCADを用いたSiへのイオン注入の角度依存性, , 公益社団法人応用物理学会, 2016年03月21日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) , 63,  21A-P2-18- 21A-P2-18, 2016年03月03日 
40
TCADを用いたSiへのイオン注入とアニール効果, , 応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月03日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 63,  ROMBUNNO.21A-P2-17- ROMBUNNO.21A-P2-17, 2016年03月03日 
41
Puppyの動作特性における路面材料依存性, , 応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月03日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 63,  ROMBUNNO.21A-P2-3- ROMBUNNO.21A-P2-3, 2016年03月03日 
42
PBII法を用いた芽胞菌の殺菌に与える包装の影響に関する基礎研究, , 応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月03日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 63,  ROMBUNNO.19P-P5-1- ROMBUNNO.19P-P5-1, 2016年03月03日 
43
TCADを用いた初歩的なSiCパワー半導体プロセスの教育システムの構築, , 応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月03日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 63,  ROMBUNNO.21A-P2-16- ROMBUNNO.21A-P2-16, 2016年03月03日 
44
工学教育におけるアクティブラーニング 電子情報工学科の基礎科目における実践報告, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2016年02月28日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-16( 1-7.9-16), 29- 34, 2016年02月28日 
45
広島工業大学電子情報工学科における学修に対する体系的な取り組み, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2016年02月28日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-16( 1-7.9-16), 79- 84, 2016年02月28日 
46
時計用LSIチップの論理回路およびレイアウトの設計, , 電気学会電子回路研究会, 2016年01月21日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-16( 1-18), 17- 22, 2016年01月21日 
47
早期に研究を希望する学生への教育と効果の中間報告, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2015年12月11日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-15( 27-32.34), 33- 38, 2015年12月11日 
48
Low Power Consumption-ization of D-FF Flash ADC, , the 2nd Education and Research Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2015年11月07日, Proceedings of the 2nd Education and Research Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  13- 13, 2015年11月07日 
49
2輪倒立モデルPuppy を用いた制御プログラムの検証時間に関する基礎研究, , 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2015年11月07日, 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  29- 29, 2015年11月07日 
50
高大連携事業による広島工業大学高等学校のMSC 大アリーナの照明のド ローンを用いた測定, , 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2015年11月07日, 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  32- 32, 2015年11月07日 
51
A preliminary Study on the effective utilization of electrical energy for environmental protection, , the 2nd Education and Research Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, 2015年11月07日, Proceedings of the 2nd Education and Research Workshop of Electronic Devices, Circuits, Illuminations, and Systems, ,  5- 5, 2015年11月07日 
52
TCAD を用いたシミュレーションによるDeal-Grove モデルの理解, , 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2015年11月07日, 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  28- 28, 2015年11月07日 
53
TCAD を用いた熱酸化膜形成時の活性化エネルギーの算出, , 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ, 2015年11月07日, 第2 回電子デバイス・回路・照明・システム関連 教育・研究ワークショップ 予稿集, ,  27- 27, 2015年11月07日 
54
走行用基準前照灯(ハロゲン)の直視グレアの初歩的な測定, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集(CD−ROM), 2015年10月10日, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集(CD−ROM), 66,  ROMBUNNO.5-5- ROMBUNNO.5-5, 2015年10月10日 
55
スポーツ照明における空間照度のシミュレーション, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 2015年10月10日, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集(CD−ROM), 66,  ROMBUNNO.5-4- ROMBUNNO.5-4, 2015年10月10日 
56
国内学会発表を通した電気電子系学生の育成に向けて, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2015年09月05日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-15( 11-22), 53- 58, 2015年09月05日 
57
PBII法を用いた混合ガスプラズマのイオン密度算定, , 応用物理学会秋季学術講演会, 2015年08月31日, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集, 76,  ROMBUNNO.15P-PB2-47- ROMBUNNO.15P-PB2-47, 2015年08月31日 
58
PBII法を用いたペニング効果のHe添加率依存性, , 応用物理学会秋季学術講演会, 2015年08月31日,  応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 76,  ROMBUNNO.15P-PB2-49- ROMBUNNO.15P-PB2-49, 2015年08月31日 
59
PBII法を用いたペニング効果におけるHe,Ar添加の比較, , 応用物理学会秋季学術講演会, 2015年08月31日, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 76,  ROMBUNNO.15P-PB2-48- ROMBUNNO.15P-PB2-48, 2015年08月31日 
60
LED・蛍光灯とのグレアの測定, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  23- 23, 2015年05月23日 
61
PBII法の食品殺菌応用におけるO2へのHe添加によるHeペニングイオン効果の電圧電流波形による検討, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  18- 18, 2015年05月23日 
62
PBII法の食品殺菌応用におけるプラズマ分光特性によるぺニングイオン効果のHe添加比率依存性の検討, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  20- 20, 2015年05月23日 
63
エネルギーハーベストのための超低電圧リング型発振器, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  22- 22, 2015年05月23日 
64
水銀灯の輝度と照度, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  24- 24, 2015年05月23日 
65
電磁気学教育のための手作りスピーカーによるアクティブラーニング, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  21- 21, 2015年05月23日 
66
エネルギーハーベストのための低消費電力フラッシュ型AD変換器, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ予稿集, ,  10- 11, 2015年05月23日 
67
9個のvan der Pol発振器を環状にインダクタで結合した系にみられる波動現象, , 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, 2015年05月23日, 第一回電子デバイス・回路・照明・システム関連教育・研究ワークショップ, ,  8- 9, 2015年05月23日 
68
TCADを用いたLED教育システムの構築, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 2014年10月01日, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集(CD−ROM), 65,  ROMBUNNO.28-11- ROMBUNNO.28-11, 2014年10月01日 
69
ものづくりのための企業内教育(職場教育)—パワーエレクトロニクス—, , 電気・情報関係学会九州支部連合大会, 2014年09月11日, 電気・情報関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD−ROM), 67,  ROMBUNNO.06-1P-07- ROMBUNNO.06-1P-07, 2014年09月11日 
70
基礎教育と電子回路教育の架け橋, , 電気学会電子・情報・システム部門大会, 2014年09月03日, 電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD−ROM), 2014,  ROMBUNNO.TC14-3- ROMBUNNO.TC14-3, 2014年09月03日 
71
ものづくりのための企業内教育(職場内教育)—パワーエレクトロニクス—, , 電気学会基礎・材料・共通部門大会, 2014年08月, 電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集(CD−ROM), 2014,  ROMBUNNO.21-C-A2-2- ROMBUNNO.21-C-A2-2, 2014年08月21日 
72
プログラマブルデバイスの製図教育への導入, , 電気学会全国大会, 2014年03月05日, 電気学会全国大会講演論文集(CD−ROM), 2014,  ROMBUNNO.1-013- ROMBUNNO.1-013, 2014年03月05日 
73
小中高一貫した理科教育の取り組み, , 電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD−ROM), 2013年09月04日, 電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD−ROM), 2013,  ROMBUNNO.TC7-6- ROMBUNNO.TC7-6, 2013年09月04日 
74
Suggestion of an IC design education method for understanding intuitively and feelingly, , 2013 International Conference on Biometrics and Kansei Engineering, 2013年07月, , ,  305- 308, 2013年07月 
75
パワーデバイス教育システムへのTCADの初歩的な応用, , 応用物理学会春季学術講演会, 2013年03月11日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 60,  ROMBUNNO.28A-PA1-7- ROMBUNNO.28A-PA1-7, 2013年03月11日 
76
MCOR eラーニングを用いたモデルベース開発の教育システム構築, , 応用物理学会春季学術講演会, 2013年03月11日,  応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD−ROM), 60,  ROMBUNNO.28A-PA1-22- ROMBUNNO.28A-PA1-22, 2013年03月11日 
77
島根県飯石郡飯南町内施設の環境教育への応用, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2013年03月05日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-13( 1-14), 69- 74, 2013年03月05日 
78
ものづくりための企業内教育(職場内教育)―パワーエレクトロニクス―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2013年03月05日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-13( 1-14), 63- 68, 2013年03月05日 
79
電子デバイス設計作製評価および解析システムの構築, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2012年12月14日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-12( 35-46), 59- 62, 2012年12月14日 
80
TCADを用いたパワーデバイスの初歩的な教育システムの構築, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 2012年10月03日, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集(CD−ROM), 63,  62- 63, 2012年10月03日 
81
ものづくりのための企業内教育―リーマンショック後の研修体制―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2012年09月10日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-12( 19-24.26-34), 21- 26, 2012年09月10日 
82
蓄電システムを用いたエネルギー利用の教育システムの構築, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2012年09月10日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-12( 19-24.26-34), 15- 20, 2012年09月10日 
83
皮膜表面の状態識別可能な光角度センサ, , 日本溶射学会全国講演大会, 2012年06月18日, 日本溶射学会全国講演大会講演論文集, 95,  71- 72, 2012年06月18日 
84
IC設計の基礎技術に関する研究, , 電気学会電子回路研究会, 2011年06月30日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT−11( 47.49−60), 49- 52, 2011年06月30日 
85
CMOSアクティブインダクタ発振回路の周波数切り換え工程の線形化, , 電気学会電子回路研究会, 2011年03月24日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-11( 26-34), 37- 42, 2011年03月24日 
86
超音波を用いたNゲージ電車速度の計測, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2011年03月04日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-11( 1-19), 67- 71, 2011年03月04日 
87
ものづくりのための企業内教育(新入社員研修)—2010年度新入社員実力確認テスト結果—, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2011年03月04日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-11( 1-19), 47- 50, 2011年03月04日 
88
CMOSアクティブインダクタを適応した電圧制御発振器の検討, , 電気学会電子回路研究会, 2011年01月27日, 電気学会電子回路研究会資料 , ECT-11( 16-25), 1- 6, 2011年01月27日 
89
CMOSレイアウト設計・検証を行う実習教育のアンケート調査, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2010年09月08日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-10( 23-38), 59- 62, 2010年09月08日 
90
EXCELを用いた,高校における集積回路のレイアウト設計教育, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2010年09月08日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-10( 23-38), 69- 72, 2010年09月08日 
91
ものづくりのための企業内教育(半導体関連)―教育実施およびアンケート調査―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2010年09月08日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-10( 23-28), 63- 68, 2010年09月08日 
92
チップ試作を取り入れたLSI設計教育への取り組み, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2010年03月03日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-10( 1-12,14-22), 15- 20, 2010年03月03日 
93
ものづくりのための企業内教育(半導体関連)―教材作成―, , 電気学会電子回路研究会, 2010年01月21日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-10( 1-14), 51- 55, 2010年01月21日 
94
オゾン水供給装置の作成, , 電気学会プラズマ研究会, 2009年11月13日, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-09( 113-126), 5- 8, 2009年11月13日 
95
プラズマベースイオン注入滅菌法のための初歩的なプラズマシミュレーション, , 電気学会プラズマ研究会, 2009年08月06日, 電気学会プラズマ研究会資料 , PST-09( 22-40), 31- 35, 2009年08月06日 
96
滅菌法のための初歩的なプラズマシミュレーション, , 応用物理学会中国四国支部・日本物理学会中国支部・四国支部・日本物理教育学会中国四国支部支部学術講演会, 2009年07月, 応用物理学会中国四国支部・日本物理学会中国支部・四国支部・日本物理教育学会中国四国支部支部学術講演会講演予稿集, 2009,  153- 153, 2009年07月 
97
学部生へのICレイアウト設計・試作実験の一考察, , 電気学会電子回路研究会, 2009年06月11日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-09( 53-62), 41- 44, 2009年06月11日 
98
二輪倒立モデルの電子制御とV字サイクル開発手法との関係, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2009年03月06日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-09( 1-16), 41- 46, 2009年03月06日 
99
カーエレクトロニクスを題材とした電子情報技術の体験教育教材作成, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2009年03月06日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-09( 1-16), 47- 50, 2009年03月06日 
100
同軸2輪車型倒立振子のMATLAB/simulinkモデルの教育への応用, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2008年09月16日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-08( 13-24, 26-29), 37- 42, 2008年09月16日 
101
LSI設計教育への広島工業大学での取り組み―電子デバイス分野の集積回路設計関連教育を中心として―, , 電気学会電子回路研究会, 2006年11月09日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-06( 95-100), 9- 12, 2006年11月09日 
102
7セグメントドライバCMOSLSIの設計・製作・評価一貫教育システムの構築, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2006年03月03日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-06( 1-18), 73- 76, 2006年03月03日 
103
プラズマベースイオン注入法を用いてSi中に注入した窒素イオン分布のHRBSとSIMSの比較, , 真空に関する連合講演会講演予稿集, 2006年, 真空に関する連合講演会講演予稿集 , 47,  149- 149, 2006年 
104
システムLSI関連ものづくり教育における基本的な集積回路の作成, , 応用物理学会学術講演会, 2005年09月07日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 66( 1), 336- 336, 2005年09月07日 
105
基本的な集積回路システムの一貫設計作成評価に関する基礎研究, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2005年08月04日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-05( 18-31), 59- 64, 2005年08月04日 
106
高大連携によるシステムLSI関連ものづくり教育の活用, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2005年08月04日, 電気学会教育フロンティア研究会資料 , FIE-05( 18-31), 39- 42, 2005年08月04日 
107
システムLSI関連ものづくり教育の構築~簡単なICチップの作成~, , 応用物理学関係連合講演会, 2005年03月29日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 52( 1), 486- 486, 2005年03月29日 
108
プラズマベースイオン注入法によりSi中に注入した窒素の高分解能RBSによる測定, , 応用物理学関係連合講演会, 2005年03月29日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 52( 1), 188- 188, 2005年03月29日 
109
プラズマベースイオン注入法を用いてシリコン中に注入した窒素の高分解RBSデプスプロファイル, , 電気学会プラズマ研究会, 2005年03月03日, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-05( 1-15,17-19), 1- 5, 2005年03月03日 
110
社会人および学生,高校生のための教育における産官学連携―集積回路設計・半導体プロセス・集積回路応用―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2005年, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-05( 1-17), 45- 48, 2005年 
111
プラズマベースイオン注入法を用いたPET膜中への注入イオンのシミュレーション, , 電気学会プラズマ研究会, 2004年10月22日, 電気学会プラズマ研究会資料 , PST-04( 70, 72-81), 51- 54, 2004年10月22日 
112
PBII法による滅菌技術のための窒素イオンのデプスプロファイル, , 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2004年09月01日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集 , 65( 1), 121- 121, 2004年09月01日 
113
プラズマベースイオン注入法を用いた滅菌技術のためのシリコン中の窒素デプスプロファイル, , 電気学会プラズマ研究会, 2004年07月27日, 電気学会プラズマ研究会資料 , PST-04( 13-29), 45- 49, 2004年07月27日 
114
社会人および学生のための教育における産官学連携―白色LED発光制御ボード・ARM体験講座の企画および実施―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2004年07月13日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-04( 20,22-28), 29- 33, 2004年07月13日 
115
初歩的なシステムLSI設計教育におけるものづくりの取り組み―プリント基板の作成およびプロセスシミュレーション― テムLSI設計教育におけるものづくりの取り組み―プリント基板の作成およびプロセスシミュレーション―, , 応用物理学関係連合講演会, 2004年03月28日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 51( 1), 459- 459, 2004年03月28日 
116
N2ガスを使用したPBII法による滅菌プロセスにおける印加電圧効果, , 応用物理学関係連合講演会, 2004年03月28日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 51( 1), 158- 158, 2004年03月28日 
117
社会人および学生のための教育における産官学連携―1日ARM体験講座の企画および実施―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2004年03月05日, 電気学会教育フロンティア研究会資料 , FIE-04( 14-19), 5- 8, 2004年03月05日 
118
社会人および学生のための教育における産官学連携―白色LED発光制御ボード作成体験講座の企画および実施―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2004年03月05日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-04( 14-19), 1- 4, 2004年03月05日 
119
コンピュータ演算装置に関する''ものづくり教育''と高大連携, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2004年, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-04( 29-37), 29- 35, 2004年 
120
社会人および学生のための教育における産官学連携―LSI設計1日体験学習講座の企画および実施―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2003年09月11日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-03( 21-33), 37- 40, 2003年09月11日 
121
プラズマベースイオン注入(PBII)法を用いた滅菌プロセスにおける処理時間依存性, , 応用物理学会学術講演会, 2003年08月30日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集 , 64( 1), 104- 104, 2003年08月30日 
122
学内ネットワーク(HITNET)を用いたアナログ・ディジタル集積回路関連設計・プロセス工学教育システムの構築, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2003年05月30日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-03( 10-20), 21- 24, 2003年05月30日 
123
社会人および学生のための教育における産官学連携―大規模集積回路関連設計・プロセス工学講座の企画および実施―, , 電気学会教育フロンティア研究会, 2003年05月30日, 電気学会教育フロンティア研究会資料, FIE-03( 10-20), 25- 28, 2003年05月30日 
124
アナログ・ディジタル集積回路関連設計・プロセス工学のWeb‐base遠隔教育システム, , 応用物理学関係連合講演会, 2003年03月27日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 50( 1), 487- 487, 2003年03月27日 
125
マイナスイオン発生における針状電極形状および配列の効果, , 電気学会プラズマ研究会, 2003年03月13日, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-03( 1-10), 37- 40, 2003年03月13日 
126
RFバースト炭素系アフターグロー中のプラズマ密度, , 電気学会プラズマ研究会, 2003年03月13日, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-03( 1-10), 31- 36, 2003年03月13日 
127
Introduction of LSI Layout Design to High School Education as Visualized Manufacturing Study, , 2nd Japan-Thailand Friendship International Workshop on Science, Technology & Education, 2002年11月, , ,  65- 68, 2002年11月 
128
プラズマイオン注入等価回路を基礎としたRFバーストICPにおけるプラズマ密度の算定, , 電気学会プラズマ研究会, 2002年10月26日, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-02( 114-123), 37- 42, 2002年10月26日 
129
バーストICPプラズマ中に浸されたターゲット印加電圧のSPICEによる解析, , 電気学会プラズマ研究会, 2002年10月26日, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-02( 114-123), 43- 46, 2002年10月26日 
130
基本的なアナログ・ディジタル集積回路設計システム教育, , 応用物理学会学術講演会, 2002年09月24日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集 , 63( 1), 399- 399, 2002年09月24日 
131
N2ガスを使用したPSII法による新しい滅菌プロセスに関する実験研究, , 応用物理学会学術講演会, 2002年09月24日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集 , 63( 1), 114- 114, 2002年09月24日 
132
Improvement of oxygen barrier of PET film with diamond-like carbon film by plasma-source ion implantation, , 8th International Conference on Plasma Surface Engineering, 2002年09月09日, , ,  ThOB3- ThOB3, 2002年09月09日 
133
Investigation of diamond-like carbon formed on PET film by plasma-source ion implantation using C2H2 and CH4, , International Conference on Ion Beam Modification of Materials, 2002年09月01日, , ,  P2-020- P2-020, 2002年09月01日 
134
Ion Current Extracted From a Self Ignition Plasma Around The Target Immersed In A Pulsed ICP RF Methane Plasma, , International Conference on Ion Beam Modification of Materials, 2002年09月01日, Abstract of International Conference on Ion Beam Modification of Materials, ,  P2-035- P2-035, 2002年09月01日 
135
Amorphous carbon layer deposition on plastic film by PSII, , International Conference on Metallurgical Coating and Thin Films, 2002年04月22日, , ,  24- 24, 2002年04月22日 
136
PSII法を用いてPETフィルム上に堆積させたカーボン系薄膜の化学結合状態, , 応用物理学関係連合講演会, 2002年03月27日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 49( 2), 583- 583, 2002年03月27日 
137
PSII法を用いてPETフィルム上へ成膜したカーボン薄膜の酸素透過率評価, , 応用物理学関係連合講演会, 2002年03月27日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 49( 2), 583- 583, 2002年03月27日 
138
Ar-N2混合ガス中における多重磁極RFマグネトロンスパッタ法によるFe‐N系薄膜の作製, , 応用物理学関係連合講演会, 2002年03月27日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 49( 2), 618- 618, 2002年03月27日 
139
Fe-SiO2グラニュラー膜のXPS分析, , 電気学会マグネティックス研究会, 2002年03月14日, 電気学会マグネティックス研究会資料, MAG-02-38,  51- 56, 2002年03月14日 
140
PSII法を用いてPETフィルム上に形成したカーボン薄膜のXPS研究, , 電気学会放電研究会, 2001年12月10日, 電気学会研究会誌, ( ED-01-261), 47- 51, 2001年12月10日 
141
平行平板の表面形状による静電容量型センサ出力の距離変動特性, , 計測自動制御学会中国支部学術講演会, 2001年12月01日, 計測自動制御学会中国支部学術講演会論文集, 10,  82- 83, 2001年12月01日 
142
棒状Si電極による弱電解液位の連続測定法の研究, , 自動制御連合講演会, 2001年11月22日, 自動制御連合講演会前刷 , 44,  148- 149, 2001年11月22日 
143
Surface analysis of impact compressed Cu-Ni multiplayer, , International symposium on Practical Surface Analysis, 2001年11月19日, bstracts of International symposium on Practical Surface Analysis , ,  54- 54, 2001年11月19日 
144
多重磁極形高周波マグネトロンスパッタ法によるFe薄膜の作製, , 真空に関する連合講演会, 2001年10月17日, 真空に関する連合講演会講演予稿集, 42,  218- 219, 2001年10月17日 
145
プラズマイオン注入法を用いたTiNx薄膜の形成, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 2001年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Bp-3- Bp-3, 2001年07月 
146
高周波多重磁極スパッタ法によるNi薄膜の作製, , 応用物理学関係連合講演会, 2001年03月28日, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 48( 2), 613- 613, 2001年03月28日 
147
RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるTiNix薄膜の作製, , 電子情報通信学会大会, 2001年03月07日, 電子情報通信学会大会講演論文集, 2001 エレクトロニクス 2,  26- 26, 2001年03月07日 
148
Characterization for SiO2/Si and silicide/Si interface by x-ray photoelectron spectroscopy with difference method, , he 3rd Korea-Japan International Symposium on Surface Analysis, 2000年11月02日, , ,  25- 25, 2000年11月02日 
149
High rate sputtering for Ni films by r.f.-d.c. coupled magnetron sputtering system with multipolar magnetic plasma confinement, , AVS 47th International Symposium, 2000年10月02日, , ,  98- 98, 2000年10月02日 
150
広島工業大学における集積回路関連設計・プロセス工学教育(Ⅲ), , 応用物理学会講演会, 2000年09月03日, 応用物理学会講演会予稿集, 61( 1), 377- 377, 2000年09月03日 
151
X線光電子分光法によるZnSe/MgS超格子のデプスプロファイルについて, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 2000年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Ba-10- Ba-10, 2000年07月 
152
Microstructure and Electrical Properties of CoNx Thin Films Deposited by Unbalanced Magnetron Sputtering, , 6th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 2000年06月04日, Proc. 6th Int. Conf. on Electron Beam Technologies , ,  114- 115, 2000年06月04日 
153
Rapid Thermal Annealing of CoNx, , 6th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 2000年06月04日, Proc. 6th Int. Conf. on Electron Beam Technologies , ,  116- 116, 2000年06月04日 
154
Photoelectron Signal Simulation from Textured Samples Covered by a Thin Film, , 5th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 2000年06月04日, Proc. 5th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, ,  123- 123, 2000年06月04日 
155
Effect of d.c. bias voltage on the deposition rate for Ni films by r.f. – d.c. coupled unbalanced-magnetron sputtering, , International Conference on Metallurgical Coating and Thin Films, 2000年04月10日, , ,  BP-3- BP-3, 2000年04月10日 
156
広島工業大学における集積回路関連設計・プロセス工学教育(II), , 応用物理学会講演会, 2000年03月28日, 応用物理学会講演会予稿集, 47( 1), 451- 451, 2000年03月28日 
157
SiO2/Si多層構造のX線光電子分光法による評価, , PSA99実用表面分析講演会, 1999年11月04日, PSA99実用表面分析講演会, ,  A5- A5, 1999年11月04日 
158
Preparation of Co and CoNx thin films by unbalanced r.f. magnetron sputtering, , AVS 46th International Symposium, 1999年10月25日, , ,  TF-TuA1- TF-TuA1, 1999年10月25日 
159
Photoelectron Signal Simulation from Textured Overlayer Samples, , 8th European Conference on Applications on Surface and Interface Analysis, 1999年10月04日, , ,  TU-TC07- TU-TC07, 1999年10月04日 
160
広島工業大学における集積回路関連設計・プロセス工学教育(I), , 応用物理学会講演会, 1999年09月01日, 応用物理学会講演会予稿集, 60( 1), 374- 374, 1999年09月01日 
161
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法を用いたMgxCu薄膜の作製(II), , 応用物理学会講演会, 1999年09月01日, 応用物理学会講演会予稿集, 60( 2), 495- 495, 1999年09月01日 
162
Effect of d.c. bias on the deposition rate using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering for SnNx thin films, , 5th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes, 1999年06月16日, Proc. 5th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes , ,  211- 212, 1999年06月16日 
163
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法を用いたMgxCu薄膜組成のDC制御効果, , 応用物理学会講演会, 1999年03月28日, 応用物理学会講演会予稿集, 46( 2), 668- 668, 1999年03月 
164
X-ray Photoelectron Profilography, , International symposium on Practical Surface Analysis, 1998年10月19日, Abstracts of International symposium on Practical Surface Analysis , ,  P-2- P-2, 1998年10月19日 
165
Textured surface analysis by x-ray photoelectron spectroscopy, , ELECTRONICA, 1998年10月, Abstracts of ELECTRONICA, ,  29- 35, 1998年10月 
166
XPS profilography through angle resolved spectra, , ELECTRONICA, 1998年10月, Abstracts of ELECTRONICA, ,  36- 41, 1998年10月 
167
RF-DC結合形反応マグネトロンスパッタ法によるSnNx薄膜成長速度のDC制御効果, , 応用物理学会講演会, 1998年09月, 応用物理学会講演会予稿集, 59( 2), 519- 519, 1998年09月 
168
Preparation of MgxNi thin films using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering, , IVC-14, 1998年08月31日, Abstracts of IVC-14, ,  339- 339, 1998年08月31日 
169
Evaluation of Thin Film Surface Topology Shape and Depths Profiling, , IVC-14, 1998年08月31日, Abstracts of IVC-14, ,  52- 52, 1998年08月31日 
170
Preparation of Argonfree Refractory Thin Films by using RF - DC coupled magnetron sputtering for Mg thin films, , IVC-14, 1998年08月31日, Abstracts of IVC-14, ,  178- 178, 1998年08月31日 
171
Effect of d.c. bias on the growth rate using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering for Mg thin films, , IVC-14, 1998年08月31日, Abstracts of IVC-14, ,  351- 351, 1998年08月31日 
172
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法を用いたMgxNi薄膜組成のDC制御効果, , 応用物理学会講演会, 1998年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 45( 2), 532- 532, 1998年03月 
173
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるMgNx薄膜の作成, , 応用物理学会講演会, 1997年10月, 応用物理学会講演会予稿集, 58( 2), 495- 495, 1997年10月 
174
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法を用いたMg薄膜の基板DCバイアス効果, , 応用物理学会講演会, 1997年10月, 応用物理学会講演会予稿集, 58( 2), 498- 498, 1997年10月 
175
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法により作製したTiNx/Siショットキー障壁のDCバイアス効果, , 応用物理学会講演会, 1997年10月, 応用物理学会講演会予稿集, 58( 2), 500- 500, 1997年10月 
176
X線光電子分光法におけるデプスプロファイルとX線照射における帯電防止, , PSA97実用表面分析講演会, 1997年06月18日, PSA97実用表面分析講演会, ,  36- 37, 1997年06月18日 
177
Stoichiometry control in rf-dc coupled magnetron sputtering of AlNx, , Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 1997年06月02日, Proc. 5th Int. Conf. on Electron Beam Technologies , ,  295- 299, 1997年06月02日 
178
X-ray Photoelectron Spectroscopy Measurements of TiNx Films and Ti Target Surface Nitrided by r.f.-d.c. Coupled Reactive Magnetron Sputtering, , 5th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 1997年06月02日, Proc. 5th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, ,  300- 305, 1997年06月02日 
179
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるMg薄膜の形成, , 応用物理学会講演会, 1997年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 44( 2), 461- 461, 1997年03月 
180
Preparation of TiNx thin films using r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering in Ar - N2 gas plasma, , ICTF-10/EVC-5, 1996年09月23日, Abstracts of ICTF-10/EVC-5, ,  15- 15, 1996年09月23日 
181
Monte carlo simulation of argon atoms transport during deposition of W thin films by r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering in Ar - N2 gas plasma, , ICTF-10/EVC-5, 1996年09月23日, Abstracts of ICTF-10/EVC-5, ,  261- 261, 1996年09月23日 
182
RF‐DC結合型マグネトロンスパッタ法によるTiNx膜の形成, , 応用物理学会学術講演会, 1996年09月, 応用物理学会学術講演会講演予稿集 , 57( 2), 450- 450, 1996年09月 
183
N2‐H2プラズマ処理によるSnO2薄膜の水素プラズマ耐性改善, , 電子情報通信学会大会講演会, 1996年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1996( Sogo Pt 5), 17- 17, 1996年03月 
184
RF‐DC結合形マグネトロンスパッタリングにおけるW薄膜中のAr量, , 応用物理学関係連合講演会, 1996年03月, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 43( 2), 476- 476, 1996年03月 
185
RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるAr‐N2ガスの放電特性とTiターゲット表面組成, , 電子情報通信学会大会講演会, 1996年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1996( Sogo Pt 5), 16- 16, 1996年03月 
186
RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるTiターゲット表面組成のDCバイアス効果, , 真空に関する連合講演会, 1996年, 真空に関する連合講演会講演予稿集, 37,  145- 146, 1996年 
187
薄膜センサによる微流速・流向計測法の研究, , 計測自動制御学会学術講演会, 1996年, 計測自動制御学会学術講演会予稿集 , 35th No.Domestic Session Vol.2,  639- 640, 1996年 
188
RF‐DC結合型電源を用いたプラズマ処理によるITO薄膜表面の窒素化, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1996年, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集 , 47,  70- 70, 1996年 
189
RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるAr‐N2ガスを用いたTiNx薄膜の作製, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集, 1996年, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集, 47,  71- 71, 1996年 
190
Auスパッタリングを用いたX線光電子分光法における導電膜/絶縁基板の測定改善, , 真空に関する連合講演会, 1996年, 真空に関する連合講演会講演予稿集, 37,  149- 150, 1996年 
191
RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるAr‐N2ガスの放電特性とターゲット表面組成評価, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1995年10月, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集, 46,  53- 53, 1995年10月 
192
窒素プラズマ処理によるSnO2薄膜の水素プラズマ耐性改善, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1995年10月, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集 , 46,  54- 54, 1995年10月 
193
Transparent, conductive CuI films prepared by rf-dc coupled magnetron sputtering, , IVC-13/ICSS-9, 1995年09月25日,  Abstracts  of IVC-13/ICSS-9, ,  400- 400, 1995年09月25日 
194
RF‐DC結合型マグネトロンスパッタリングにより作成したTa/ITO界面の評価, , 真空に関する連合講演会, 1995年07月15日, 真空に関する連合講演会講演予稿集 , 36,  144- 145, 1995年07月15日 
195
RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるAlNx薄膜の組成制御, , 電子情報通信学会大会講演会, 1995年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1995( Society C2), 30- 30, 1995年09月 
196
ゾル・ゲル法により形成したSiOx薄膜のNF3+O2アニール効果, , 電子情報通信学会大会講演会, 1995年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1995( Sogo Pt 5 ), 36- 36, 1995年03月 
197
RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法によるW薄膜の成長速度へのHe添加効果, , 電子情報通信学会大会講演会, 1995年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1995( Sogo Pt 5), 32- 32, 1995年03月 
198
ゾル・ゲル法で形成したSnO2薄膜のNF3+O2アニール, , 応用物理学関係連合講演会, 1995年03月, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 42( Pt 2), 404- 404, 1995年03月 
199
RF‐DC結合形マグネトロンスパッタ法により作製したAl/ITO界面の評価, , 電子情報通信学会大会講演会, 1995年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集 , 1995( Sogo Pt 5), 31- 31, 1995年03月 
200
SiO2/Si界面及びSi表面のX線光電子分光法による評価, , 真空に関する連合講演会講演予稿集, 1995年, 真空に関する連合講演会講演予稿集, 36,  24- 25, 1995年 
201
RF‐DC結合型プラズマCVD法によるa‐Si:H薄膜の成長速度, , 電子情報通信学会大会講演会, 1994年09月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1994( Shuki Pt 5), 18- 18, 1994年09月 
202
ゾル・ゲル法によるSnO2薄膜の作製, , 応用物理学会学術講演会, 1994年09月, 応用物理学会学術講演会講演予稿集 , 55( 2), 403- 403, 1994年07月 
203
Growth kinetics of refractory metal thin films sputtered by r.f. - d.c. coupled magnetron sputtering during Ar and Ne gas plasma, , 4th European Vacuum Conference and 1st Swedish Vacuum Meeting, 1994年06月13日, Abstracts of 4th European Vacuum Conference and 1st Swedish Vacuum Meeting , ,  TF73- TF73, 1994年06月13日 
204
Effect of deposition rate on DC bias voltage by using RF-DC coupled magnetron sputtering, , 4th Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 1994年06月11日,  Proc. 4th Int. Conf. on Electron Beam Technologies , ,  238- 238, 1994年06月11日 
205
Preparation of Ta/Mo structure by RF -DC coupled magnetron sputtering, , Int. Conf. on Electron Beam Technologies, 1994年06月06日, Proc. 4th Int. Conf. on Electron Beam Technologies , ,  232- 232, 1994年06月06日 
206
熱駆動マイクロバルーンによる空間光変調素子の開発, , 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会, 1994年06月, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集, 1994-B,  969- 970, 1994年06月 
207
集積化平面型薄膜インダクタの設計及び製作, , 平成五年度電子情報通信学会学生会研究発表会, 1994年03月, 平成五年度電子情報通信学会学生会研究発表会予稿集, ,  25- 25, 1994年03月 
208
液晶空間光変調素子における光導電層の設計 (I) 回路シミュレーション, , 電子情報通信学会大会講演会, 1994年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1994( Shunki Pt 5), 5127- 5.127, 1994年03月 
209
弗素化したSnO2薄膜表面構造 -角度分解X線光電子分光法-, , 応用物理学会講演会, 1994年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 41( 2), 368- 368, 1994年03月 
210
液晶空間光変調素子における光導電層の設計 (II) CdS受光素子を用いた光スイッチング, , 電子情報通信学会大会講演会, 1994年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集 , 1994( Shunki Pt 5), 5.128- 5.128, 1994年03月 
211
液晶空間光変調素子における光導電層の設計(I)-回路シミュレーション-, , 電子情報通信学会, 1994年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, ,  5.127- 5.127, 1994年03月 
212
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるTa/W及びTa/Mo薄膜の形成, , 電子情報通信学会大会講演会, 1994年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1994( Shunki Pt 5), 5.43- 5.43, 1994年03月 
213
リニアアクチュエータの設計及び製作, , 平成五年度電子情報通信学会学生会研究発表会, 1994年03月, 平成五年度電子情報通信学会学生会研究発表会予稿集, ,  25- 25, 1994年03月 
214
液晶空間光変調素子における光導電層の設計(II)-CdS受光素子を用いた光スイッチング-, , 電子情報通信学会大会講演会, 1994年03月, 電子情報通信学会大会講演論文集, ,  5.128- 5.128, 1994年03月 
215
弗素化したSnO2薄膜表面構造―角度分解X線光電子分光法, , 応用物理学関係連合講演会, 1994年03月, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 , 41( Pt 2), 368- 368, 1994年03月 
216
ゾル・ゲル法により形成したSiOX薄膜のアニール効果, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1994年, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集 , 45,  237- 237, 1994年 
217
水素プラズマ曝露によるSnO2薄膜表面の還元, , 真空に関する連合講演会, 1994年, 真空に関する連合講演会講演予稿集 , 35,  177- 178, 1994年 
218
RFアシストDCマグネトロンスパッタ法による放電特性とTa薄膜の堆積速度, , 真空に関する連合講演会, 1994年, 真空に関する連合講演会講演予稿集 , 35,  169- 170, 1994年 
219
ゾル・ゲル法で形成したSnO2薄膜表面のOH結合, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1994年, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集, 45,  239- 239, 1994年 
220
RFアシストDCマグネトロンスパッタ法による放電特性とTa薄膜の堆積速度, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1994年, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集, 45,  238- 238, 1994年 
221
RFアシストDCマグネトロンスパッタ法による放電特性とW薄膜の堆積速度, , 電気・情報関連学会中国支部連合大会, 1994年, 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集, 45,  240- 240, 1994年 
222
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるTa/Mo薄膜の作成, , 第34回真空に関する連合講演会, 1993年10月, 第34回真空に関する連合講演会予稿集, ,  25- 25, 1993年10月 
223
弗素化したSnO2薄膜の表面構造, , 第34回真空に関する連合講演会, 1993年10月, 第34回真空に関する連合講演会予稿集, ,  25- 25, 1993年10月 
224
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるTa/W薄膜の作成, , 平成5年度電気・情報関連学会中国支部第44回連合大会, 1993年10月, 平成5年度電気・情報関連学会中国支部第44回連合大会予稿集, ,  25- 25, 1993年10月 
225
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるTa薄膜の作成, , 電子情報通信学会, 1993年09月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1993年09月 
226
RF-DC結合電源によるSnO2薄膜表面の水素プラズマ耐性改善, , 応用物理学会講演会, 1993年09月, 応用物理学会講演会予稿集, 54( 2), 499- 499, 1993年09月 
227
パルス光による液晶表示素子の光透過率の制御, , 電子情報通信学会, 1993年09月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1993年09月 
228
TN型液晶表示デバイスにおけるコントラスト比の入射波長依存性, , 電子情報通信学会, 1993年09月, , ,  25- 25, 1993年09月 
229
薄膜を用いた弱電界液の微流速・流向センサ開発, , 計測自動制御学会, 1993年08月, 計測自動制御学会予稿集, ,  25- 25, 1993年08月 
230
熱駆動マイクロセルアレイによる空間変調素子の開発, , 日本機械学会, 1993年08月, 日本機械学会予稿集, ,  25- 25, 1993年08月 
231
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるTa/TaNX薄膜の作成, , 日本物理学会・ 応用物理学会中四国支部例会, 1993年07月, 日本物理学会・ 応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Epー13- Epー13, 1993年07月 
232
弗素化したSnO2薄膜表面のAFMによる観察, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 1993年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Epー14- Epー14, 1993年07月 
233
TN型液晶表示デバイスの作製 -ラビング効果-, , 平成四年度電子情報通信学会学生会研究発表会, 1993年03月, 平成四年度電子情報通信学会学生会研究発表会予稿集, ,  25- 25, 1993年03月 
234
SnO2薄膜表面改質による水素プラズマ耐性改善, , 電子情報通信学会, 1993年03月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1993年03月 
235
RF-DC結合マグネトロンスパッタ法による透明導電膜ヨウ化銅の作成, , 応用物理学会講演会, 1993年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 40( 2), 400- 400, 1993年03月 
236
水蒸気処理によるSnO2薄膜の水素プラズマ耐性改善(II), , 応用物理学会講演会, 1993年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 40( 2), 400- 400, 1993年03月 
237
アルゴン及びネオンガスを用いたRF-DC結合マグネトロンスパッタ法によるMo薄膜の形成-DC制御効果-, , 電子情報通信学会, 1993年03月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1993年03月 
238
液浸法により付着した金属/SnO2/ガラス構造の水素プラズマ耐性, , 電子情報通信学会, 1993年03月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1993年03月 
239
光スイッチによる液晶表示デバイスの光透過率の制御, , 平成四年度電子情報通信学会学生会研究発表会, 1993年03月, 平成四年度電子情報通信学会学生会研究発表会予稿集, ,  25- 25, 1993年03月 
240
PREPARATION OF W AND Mo THIN FILMS BY RF-DC COUPLED MAGNETRON, , IVC-12/ICSS-8, 1992年10月12日,  Abstracts of IVC-12/ICSS-8, ,  491- 491, 1992年10月12日 
241
PREPARATION OF W AND Mo THIN FILMS BY RF-DC COUPLED MAGNETRON, , IVC-12/ICSS-8, 1992年10月12日, Abstracts of IVC-12/ICSS-8, ,  491- 491, 1992年10月12日 
242
RF-DC結合マグネトロンスパッタ法によるW薄膜の結晶構造と電気的特性, , 平成4年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会, 1992年10月, 平成4年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 
243
水蒸気を用いた SnO2薄膜の表面改質, , 第33回真空に関する連合講演会, 1992年10月, 第33回真空に関する連合講演会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 
244
ITO及びSnO2薄膜の水素プラズマ処理, , 平成4年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会, 1992年10月, 平成4年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 
245
X線光電子スペクトルのデータ転送, , 平成4年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会, 1992年10月, 平成4年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 
246
弗素化したTextured SnO2薄膜の水素プラズマ耐性, , 第33回真空に関する連合講演会, 1992年10月, 第33回真空に関する連合講演会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 
247
Textured SnO2薄膜の表面改質(II) -角度分解X線光電子分光法-, , 平成4年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会, 1992年10月, 平成4年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 
248
RF-DC結合マグネトロンスパッタ法におけるDC制御効果, , 平成4年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会, 1992年10月, 平成4年度電気・情報関連学会中国支部第43回連合大会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 
249
透明導電膜CuIの作成, , 第33回真空に関する連合講演会, 1992年10月, 第33回真空に関する連合講演会予稿集, ,  25- 25, 1992年10月 
250
酸性亜鉛メッキ法と熱酸化法を用いたZnOX/SnO2/GLASS構造の水素プラズマ耐性, , 電子情報通信学会, 1992年09月, 電子情報通信学会, ,  25- 25, 1992年09月 
251
広島工業大学における電子デバイス教育, , 応用物理学会講演会, 1992年09月, 応用物理学会講演会予稿集, 53( 1), 350- 350, 1992年09月 
252
エチルアルコール蒸気処理によるSnO2薄膜の水素プラズマ耐性改善, , 応用物理学会講演会, 1992年09月, 応用物理学会講演会予稿集, 53( 2), 421- 421, 1992年09月 
253
SnO2薄膜のアルコール処理, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 1992年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Ap-12- Ap-12, 1992年07月 
254
ITO薄膜の弗素化処理 -角度分解XPS法-, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 1992年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Apー10- Apー10, 1992年07月 
255
Textured SnO2薄膜の表面改質, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 1992年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  Ap-13- Ap-13, 1992年07月 
256
酸性亜鉛メッキ法による透明導電膜上へのZn膜の成長, , 日本物理学会・応用物理 学会中四国支部例会, 1992年07月, 日本物理学会・応用物理 学会中四国支部例会予稿集, ,  Ap-11- Ap-11, 1992年07月 
257
SnO2薄膜の水素プラズマ処理効果(II), , 電子情報通信学会, 1992年03月, 電子情報通信学会, ,  25- 25, 1992年03月 
258
水蒸気処理によるSnO2薄膜の水素プラズマ耐性改善, , 応用物理学会講演会, 1992年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 39( 2), 374- 374, 1992年03月 
259
透明導電膜の弗素化メカニズム, , 第32回真空に関する連合講演会, 1991年10月, 第32回真空に関する連合講演会予稿集, ,  31P-20- 31P-20, 1991年10月 
260
ITO薄膜の弗素化メカニズム, , 平成3年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会, 1991年10月, 平成3年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会予稿集, ,  50- 50, 1991年10月 
261
SnO2薄膜の水素プラズマ処理 一角度分解XPS法ー, , 平成3年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会, 1991年10月, 平成3年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会予稿集, ,  48- 48, 1991年10月 
262
SnO2薄膜の弗素化メカニズム, , 平成3年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会, 1991年10月, 平成3年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会予稿集, ,  49- 49, 1991年10月 
263
学部過程におけるマイクロエレクトロニクス実験, , 平成3年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会, 1991年10月, 平成3年度電気・情報関連学会中国支部第42回連合大会予稿集, ,  342- 342, 1991年10月 
264
RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるW薄膜の作製, , 第32回真空に関する連合講演会, 1991年10月, 第32回真空に関する連合講演会予稿集, ,  31P-23- 31P-23, 1991年10月 
265
SnO2薄膜の水素プラズマ処理効果, , 電子情報通信学会, 1991年09月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1991年09月 
266
透明導電膜の表面改質, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 1991年07月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  議Pa4- 議Pa4, 1991年07月 
267
ITO薄膜の表面弗素化, , 電子情報通信学会, 1991年03月, 電子情報通信学会予稿集, ,  25- 25, 1991年03月 
268
透明導電膜の水素プラズマ処理, , 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会, 1991年03月, 日本物理学会・応用物理学会中四国支部例会予稿集, ,  議Pa3- 議Pa3, 1991年03月 
269
SnO2薄膜表面の弗素化処理によるa-Si:H中へのSn拡散の抑制, , 応用物理学会講演会, 1991年03月, 応用物理学会講演会予稿集, 38( 38), 745- 745, 1991年03月 
270
集積回路教育システムを用いた、リングオシレータの設計及び製作, , 平成2年度電子情報通信学会学生会研究発表会, 1990年12月, 平成2年度電子情報通信学会学生会研究発表会予稿集, ,  25- 25, 1990年12月 
271
RF-DC結合マグネトロンスパッタ法によるMo薄膜の作製, , 電子情報通信学会, 1990年10月, 電子情報通信学会, ,  25- 25, 1990年10月 
272
SnO2薄膜の表面弗素化, , 平成2年度電気関係学会中国支部連合大会, 1990年10月, 平成2年度電気関係学会中国支部連合大会予稿集, ,  25- 25, 1990年10月 
273
RF-DC結合スパッタ法によるW薄膜の作製, , 応用物理学会講演会, 1990年09月, 応用物理学会講演会予稿集, 51( 2), 665- 665, 1990年09月 
274
エキシマレ-ザ誘起CryogenicCVDによる結晶性Si薄膜の成長 -CO2レーザ照射効果ー, , 応用物理学会講演会, 1990年09月, 応用物理学会講演会予稿集, 51( 2), 480- 480, 1990年09月 
275
Emerging Technologies for ULSI, , the 177th Meeting Electrochemical Society, 1990年05月11日, Proc. of the 177th Meeting Electrochemical Society, ,  25- 25, 1990年05月11日 
276
レ-ザ誘起Cryogenic CVDによるSiの単原子層成長, , 応用物理学会講演会, 1989年09月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1989-9- 1989-9, 1989年09月 
277
Siのレ-ザ誘起 Cryogenic-CVD -初期過程-, , 応用物理学会講演会, 1989年04月01日, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1a-ZF-2- 1a-ZF-2, 1989年04月01日 
278
Degital CVD and Etching Technologies for Semiconductor Processing, , 36th AVS Annual Symposium, 1989年, 36th AVS Annual Symposium, ,  25- 30, 1989年10月23日 
279
ATOMIC LAYER GROWTH OF SILICON BY EXCIMER LASER INDUCED CRYOGENIC CVD, , the 21th Conference on Solid State Devices and Materials, 1989年, Extended Abstracts of the 21th Conference on Solid State Devices and Materials, ,  53- 53, 1989年 
280
ATOMIC LAYER GROWTH MECHANISM OF SILICON BY EXCIMER LASER INDUCED CRYOGENIC CVD, , 1989 Dry Process Symposium, 1989年, Proc. of 1989 Dry Process Symposium, ,  103- 103, 1989年 
281
Early Stages of Flurorine Enhanced Oxidation of Silicon, , 6th Intern. Symp. on Passivity, 1989年, , ,  25- 25, 1989年 
282
Fluorine-Enhanced Thermal Oxide / Si Interface, , 1988 Dry Process Symposium, 1988年11月, Proc. of 1988 Dry Process Symposium, ,  129- 134, 1988年11月 
283
弗素増速熱酸化膜のホットエレクトロントラップ, , 応用物理学会講演会, 1988年10月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1988-10-1- 1988-10-1, 1988年10月 
284
Siのレ-ザ誘起Cryogenic-CVD -膜質評価-, , 応用物理学会講演会, 1988年10月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1988-10-2- 1988-10-2, 1988年10月 
285
Selective Growth of Polycrystalline Silicon by Laser-Induced Cryogenic CVD, , the 20th (1988 International) Conference on Solid State Devices and Materials, 1988年08月24日, Extended Abstracts of the 20th (1988 International) Conference on Solid State Devices and Materials, ,  61- 64, 1988年08月24日 
286
弗素増速熱酸化膜の酸化誘起欠陥, , 応用物理学会講演会, 1988年03月30日, 応用物理学会講演会予稿集, ,  30p-N-3- 30p-N-3, 1988年03月30日 
287
2波長レ-ザCVDによるSiO2膜の形成, , 応用物理学会講演会, 1988年03月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1988-3- 1988-3, 1988年03月 
288
多結晶Siのレ-ザ誘起Cryo- CVD -パタ-ン転写-, , 応用物理学会講演会, 1988年03月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1988-3- 1988-3, 1988年03月 
289
SiO2膜のエキシマレ-ザCVD, , 応用物理学会講演会, 1987年10月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1987-10- 1987-10, 1987年10月 
290
冷却基板上への多結晶Siの選択レ-ザCVD, , 応用物理学会講演会, 1987年10月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1987-10- 1987-10, 1987年10月 
291
SiO2膜のエキシマレ-ザCVD, , 応用物理学会講演会, 1987年03月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  29p-C-9- 29p-C-9, 1987年03月 
292
Study on Demagnified Reflection-Type X-Ray Lithography, , the Riken Symposium on Ion Implantation and Submicron Fabrication, 1987年03月,  Proc. of the Riken Symposium on Ion Implantation and Submicron Fabrication, ,  185- 188, 1987年03月 
293
Stoichiometry Control in Laser CVD SiO2, , Electrochemical Society, 1987年03月, Proc. of the 172nd Meeting Electrochemical Society , ,  247- 254, 1987年03月 
294
シリコンのフッ素増速酸化と酸素アニ-ル効果, , 応用物理学会講演会, 1987年03月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1987-3- 1987-3, 1987年03月 
295
ArF エキシマレ-ザを用いたSiの選択 CVD, , 応用物理学会講演会, 1986年09月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1986-9- 1986-9, 1986年09月 
296
SiO2の選択CVD, , 応用物理学会講演会, 1986年04月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1986- 1986, 1986年04月 
297
弗素増速熱酸化膜の窒素アニ-ル効果, , 応用物理学会講演会, 1985年10月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1985- 1985, 1985年10月 
298
Alのレ-ザ誘起光化学エッチング, , 応用物理学会講演会, 1985年10月, , ,  1985- 1985, 1985年10月 
299
A New X-Ray Lithographic Technique Using No Thin Film Pattern Masks, , the 1985 Materials Research Society Spring Meeting, 1985年04月, Abstracts of the 1985 Materials Research Society Spring Meeting, ,  204- 204, 1985年04月 
300
A New X-Ray Lithographic Technique Based On Pattern Printing By X-Rays Reflected From A Pattern Plate, , the Riken Symposium on Ion Implantation and Submicron Fabrication, 1985年03月, Proc. of the Riken Symposium on Ion Implantation and Submicron Fabrication, ,  197- 197, 1985年03月 
301
収束系を用いたX線反射露光法によるパターンの転写, , 応用物理学会講演会, 1984年10月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1984- 1984, 1984年10月 
302
薄膜マスクを用いないパターン縮小可能なX線露光法の提案, , 応用物理学会講演会, 1984年04月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  1984- 1984, 1984年04月 
303
Demagnified Projection Printing By A New X- Ray Lithographic Technology, , Riken Symposium on Ion Implantation and Submicron Fabrication, 1984年03月, Proc. of the Riken Symposium on Ion Implantation and Submicron Fabrication, ,  145- 150,   
304
Demagnified Projection Printing By A New X- Ray Lithographic System Using No Thin Film, , the 16th (1984 International) Conference on Solid State Devices and Materials, 1984年, Extended Abstracts of the 16th (1984 International) Conference on Solid State Devices and Materials, ,  62- 62, 1984年 
305
半絶縁性GaAsのDeep Levelフォトルミネッセンス及び光吸収, , 応用物理学会講演会, 1982年04月, 応用物理学会講演会予稿集, ,  2p-Q-12- 2p-Q-12, 1982年04月